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射频等离子体制备类金刚石薄膜及其表征 总被引:1,自引:0,他引:1
采用射频等离子体技术,以CH4和H2为反应气体,在单晶硅片和载玻玻璃片上成功制备出了高质量的类金刚石薄膜.采用扫描电镜、原子力显微镜、Raman光谱、红外光谱、显微硬度计表征了类金刚石薄膜的表面形貌、微观结构、光学性能和复合硬度.结果表明,制备出的类金刚石薄膜表面十分平整光滑,表面粗糙度极低,平均粗糙度Ra为0.492 nm;薄膜中含有sp2,sp3杂化键,具有典型的类金刚石结构特征;光学透过率比较高,薄膜的复合硬度可以高达507.3 kgf/cm2. 相似文献
62.
玻璃-PDMS微流控芯片制备工艺 总被引:2,自引:0,他引:2
以玻璃为基片的微流控芯片在制备方面存在制作成本偏高及加工周期较长等问题.本研究以廉价的载玻片为微流控芯片基片材料,以铬膜为牺牲层,通过优化光刻和湿法刻蚀工艺,得出较为优异的湿法刻蚀条件,制备出了较佳结构的玻璃微沟道.将其与PDMS进行不可逆封接后,获得了玻璃-PDMS芯片.该工艺简单,且有效地降低了芯片的制作成本.电渗性能测试结果表明,该芯片电渗性能稳定、良好. 相似文献
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低温空气等离子体改性PDMS的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为了改善聚二甲基硅氧烷(PDMS)的亲水性和稳定其电渗性能,采用空气微波等离子体在低温条件下对其表面进行改性。利用原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)及静态接触角对处理前后的PDMS进行分析。经空气微波等离子体处理3min后,PDMS的亲水性得到极大的改善,水在其表面的接触角接近零度。XPS结果表明:处理后PDMS表面形成SiOx薄层;AFM显示空气等离子体处理对PDMS的表面没有损伤。与文献报道的高、中真空氧等离子体处理方法相比,亲水效果基本一致,却大幅度降低了对设备真空系统的要求,并缩短了操作时间,节约了成本。最佳处理条件为:微波为100W,腔体内气压为1.0kPa,空气的流量为20sccm(1sccm=1cm3·min^-1),时间3min。 相似文献
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目的 探讨CT引导下隆突下淋巴结穿刺活检的安全性及其临床应用价值。方法 回顾性总结2006年7月 - 2010年7月17例CT引导下隆突下肿大淋巴结穿刺活检的病例资料,穿刺结束后即时CT复查及短期随访,了解并发症情况,评估穿刺安全性。活检标本行病理学检查,评估穿刺活检准确性及其临床应用价值。结果 17例患者中14例首次穿刺活检针即准确进入隆突下淋巴结内,并获得组织学标本;3例首次穿刺活检针未能进入隆突下淋巴结内,其中2例因患者咯血,放弃活检术,1例于1周后行第2次穿刺成功。本组技术成功率为88.2%(15/17)。15例穿刺成功者中13例获得病理学诊断,2例未能定性,本组病理活检阳性率86.7%(13/15例),其中肺癌转移性淋巴结10例,炎性反应性增生性淋巴结2例,结核1例。主要并发症有气胸和肺出血,其中2例咯血量较大,给予消炎和止血治疗后症状消失,并发症发生率23.5%(4/17例)。结论 CT引导下经皮隆突下淋巴结穿刺活检术成功率和准确性高,在熟练掌握穿刺技术的基础上,按照分布法操作安全性好,对指导临床治疗有很大帮助。 相似文献