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神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造 总被引:2,自引:0,他引:2
为了从中枢神经系统记录电信号,半导体加工技术已经被用于微电极探针的制造.介绍了一种硅基探针的设计和制造工艺流程.我们已经制造出15 μm厚,3 mm长,100μm宽的记录用探针,每根探针含有7个记录点,间隔120 μm.在制造过程中使用微机械系统(MEMS)工艺中常用的硅表面微加工工艺:等离子增强化学气相淀积(PECVD),感应耦合等离子刻蚀(ICP)以及硅的各向异性刻蚀等.测试结果给出了探针的强度和阻抗特性. 相似文献
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为研究受硫酸盐侵蚀粗骨料制成再生混凝土的力学性能,分别测试了普通硅酸盐的立方体抗压强度,加入不同外加剂的再生混凝土的立方体抗压强度以及不加外加剂的再生混凝土的立方体抗压强度。结果表明:再生混凝土的立方体抗压强度比普通混凝土抗压强度略低,与普通混凝土的立方体抗压强度相差了5%左右;在加入减水剂的情况下,强度比正常混凝土强度还要高;早强剂对再生混凝土的早期强度影响较大,后期效果不是很明显。由于硫酸钠溶液浸泡时间过短,硫酸盐的腐蚀效果不显著,再生混凝土的强度影响还有待进一步研究。 相似文献
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针对影响A工程的因素进行研究,建立了因子分析模型,求解出混凝土对A工程影响程度的大小。将混凝土种类进行细分,利用模糊综合评价模型,评价出适合的混凝土选择方案,并为未来工程施工对混凝土的选择提供参考。 相似文献
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2013年进行了机插秧田杂草防除试验研究。结果表明:55%吡嘧·丙草胺WP 1125.0 g/hm2封闭效果最理想,药后20,45 d,封闭综合防效分别为93.75%、92.63%,与55%吡嘧·丙草胺WP 750.0~937.5 g/hm2的防效54.38%~75.00%、51.48%~72.88%及对照药剂50%苄·丁·异丙隆WP 1200.0 g/hm2、53%苄嘧·苯噻酰WP 1200.0 g/hm2的防效76.87%~87.50%、72.07%~85.31%差异极显著。在试验剂量条件下,药剂对水稻安全。 相似文献
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文章论述了最早人们从陨石中发现金刚石,并从中受到启发,开始研究通过动态高压的方法合成金刚石的发展历程,并论述了我国金刚石行业动态高压法合成的发展和前景。 相似文献