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硅片清洗技术已成为制备高技术电子产品的关键技术。采用窄间隙介质阻挡放电方法研制了低温氧等离子体源,把氧离解、电离、离解电离成O、O-、O+和O2(a1Δg)等低温氧等离子体,其中O-和O2(a1Δg)活性粒子进一步反应形成高质量浓度臭氧气体,再溶于酸性超净水中,用于去除硅片表面颗粒污染物。实验结果表明:当等离子体源输入功率为300 W时,臭氧气体质量浓度最高为316 mg/L;高质量浓度臭氧气体溶于pH值为3.8的超净水中形成臭氧超净水,质量浓度为62.4 mg/L;在硅片清洗槽内,高质量浓度臭氧超净水仅用30 s就可去除硅片表面的Cu、Fe、Ca、Ni和Ti等金属颗粒物,去除率分别为98.4%、95.2%、88.4%、85.2%和64.1%。本方法与目前普遍使用的RCA清洗法相比,具有无需大剂量化学试剂和多种液体化学品、清洗工艺简单、投资及运行成本低等优势。因此,窄间隙介质阻挡放电清洗硅片表面颗粒污染物技术具有广阔的市场应用前景。 相似文献
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EADS防御与安全公司(DS)为中程增强型防空系统(MEADS)火控雷达开发的传输/接收标准组件,已经通过了验收测试并进入批量生产阶段. 相似文献
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2021年,我国两轮电动车市场保有量达到3.4亿台,突破新高,两轮电动车用废电池回收利用情况引发关注。本文研究了两轮电动车应用场景、回收模式、废电池产生量以及行业存在的问题。两轮电动车主要有个人出行、共享出行、即时配送三大应用场景,车辆使用占比分别为96.8%、2.3%、0.9%。两轮电动车用电池主要包括铅蓄电池和锂离子电池两种。废电池回收模式主要包括企业主导型和市场驱动型。其中,铅蓄电池回收模式企业主导型以生产企业为主;锂离子电池回收模式企业主导型以应用企业为主,一般多为换电企业。使用的锂离子电池规格相对统一,集中回收管理有利于废电池梯次利用和资源回收,建议出台政策支持换电企业发展,鼓励换电模式在个人出行场景有更多推广应用。 相似文献
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iPhone的成功有其产品本身的原因,也与其营销推广策略相关,不过Apple的企业文化也成为iPhone取得成功的重要因素。 相似文献
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采用PLC和变频器对钢丝圈生产线进行控制改造。改造后钢丝缠绕精度可控制在80~100 mm内,大大提高了产品制造精度;与直流调速电机相比,降低了炭刷的故障率;通过PLC控制变频器,减小了人为因素的影响,大大提高了钢丝圈的质量。通过变频器控制低负载时电机的转速还可节约电能10%。 相似文献
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