4-Mask工艺Cu腐蚀分析及改善研究

针对4-Mask工艺铜数据线腐蚀造成的锯齿状不良现象进行系统研究,发现铜腐蚀发生的工艺步骤和机理,并找到有效的措施。首先,通过显微镜对每道刻蚀工艺后铜数据线形貌进行观测,确定铜腐蚀发生的工艺步骤。接着,通过扫描电子显微镜和X射线电子能谱测量腐蚀生产物成分,对腐蚀机理提出合理解释。最后在铜腐蚀发生机理基础上,提出有效的改善措施。铜腐蚀是在有源半导体层干刻和光刻胶的灰化综合作用下发生,其主要产物为氧化铜、氯化铜。通过先进行灰化工艺然后进行有源半导体层干刻的工艺措施,在铜数据线两侧形成氧化铜保护膜,可以彻底改善铜腐蚀。改善措施可以解决铜腐蚀的问题,彻底消除铜数据线锯齿状不良。     

膨胀土分类的PCA-ELM模型及应用

为更合理确定膨胀土类别,将主成分分析(PCA)与极限学习机(ELM)相结合,提出一种膨胀土分类的PCA-ELM模型。选取能充分反映膨胀土类别的液限、塑性指数、<2 μm胶粒含量与自由膨胀率4项指标进行分析,运用主成分分析对各指标进行相关性处理,依据方差累计贡献率得出2个主成分。将70%的样本划分为训练集,30%划分为测试集,将训练集作为极限学习机输入,并采用十折交叉验证以优化模型参数,从而得到最优分类模型。然后将测试集作为最优模型输入,得到分类结果。最后,选用2个工程实例共32个样本对所建立模型进行验证,结果表明:该模型分类结果与实际较吻合;训练集与测试集分类精度分别达94.20%和79.00%,并具有较快的训练速度。PCA-ELM模型适用于大规模数据的分类预测。     

新型地面灌水技术膜袋灌

膜袋灌技术是一种集节水、节能、省工、省时于一体的新型高效地面灌水技术。膜袋灌技术能有效解决传统地面灌水方法蒸发量大、深层渗漏多,水分利用效率低和灌水均匀度差等问题,适应我国现阶段农业的发展需求,具有重要的科研价值和现实意义。通过室内水平土箱膜袋灌水实验研究,发现膜袋灌水后湿润带内灌水均匀系数均在70%以上,属于高均匀度节水灌溉新技术。灌水量和膜孔间距会对膜袋灌水后土壤湿润均匀性产生影响,特别是沿膜袋方向上。可通过减小膜孔间距和增大灌水量的方法,进一步提高膜袋灌水均匀性。     

航天军民融合标准化工作的思考

军民融合标准化工作是推动促进国家军民融合发展战略的重要抓手,是军民深度融合发展的前提和基础。中国航天一直将标准化作为航天转型升级和跨越式发展的战略性、基础性工作,大力推进军民融合标准化工作。本文总结分析了中国航天军民融合标准化工作进展情况,研究提出了航天军民融合标准化工作存在的问题、推动军民标准深度融合的有关建议和后续工作展望。     

Harris角点结合金字塔光流法的目标跟踪算法设计研究

针对现存很多跟踪算法在速度和准确度方面很难满足嵌入式跟踪开发的需要,提出一种基于Harris角点和金字塔光流法的快速跟踪算法,并详细给出了DSP-FPGA的硬件设计。首先,使用Harris角点提取目标角点特征;然后,使用金字塔光流法为后续视频帧匹配角点;最后,基于角点的质心跟踪算法用于匹配目标的重心,确定目标的位置,重心跟踪算法可以较好地抵消由于旋转或扭曲带来的形变问题。在硬件实现过程中,FPGA方便电路设计,使用硬件描述程序语言实现硬件算法、逻辑控制和外部接口,DSP则运行目标跟踪算法。实验结果验证了本文硬件实现算法的有效性,相比于AVT21开发板的质心跟踪算法、相位相关跟踪算法和金字塔相关性跟踪算法相比,本文算法在平均重叠和平均中心误差方面具有一定优势,在720p的视频流上可以满足25fps。     

一种基于RFT和分段处理的高速机动目标相参积累算法

高速机动目标会在短时间内跨越距离单元（Range Migration, RM）,并且由于目标机动性产生跨多普勒单元（Doppler Spread, DS）等问题。基于搜索的传统处理算法通过时间和计算量换取积累性能,不利于工程应用。本文提出一种通过分段处理方式对回波进行相参积累的算法。该算法在保证子片段内回波RM和DS问题可以忽略的前提下,将积累时间划分为若干个子片段。在该分段准则下通过Radon-Fourier Transform（RFT）对子片段进行处理。随后,根据各子片段RFT积累峰值位置分布特性和相位差异,设计一种子片段间的相参积累方案,实现多个子片段间峰值能量的相参积累。所提算法在子片段内可以忽略目标机动性的影响,避免了子片段内目标机动参数（加速度项）的搜索,可在积累性能和计算效率之间取得良好平衡。      

熊果酸及五环三萜同类物的研究进展

五环三萜类化合物种类繁多,广泛分布在植物体中,且大多具有重要的药理活性,临床应用前景十分诱人.随着研究的不断深入,有关五环三萜结构与活性的研究取得了大量进展,新的同类化合物不断的被发现.就熊果酸及五环三萜同类物结构与分类、在植物中的分布情况和药理作用的研究进展进行了综述.     

国产pnp双极晶体管在宽总剂量范围辐照下的ELDRS

研究了不同偏置条件下国产商用pnp型双极晶体管在宽总剂量范围内的辐射损伤特性和变化规律.实验结果表明,在100 rad(Si)/s和0.01 rad(Si)/s剂量率辐照下,总累计剂量达到200 krad (Si)时,这一宽总剂量范围内辐射损伤趋势均随着总剂量值不断累积而增大,且并未出现饱和.相同剂量率辐照下,发射结施加反偏状态时国产商用pnp双极晶体管的过剩基极电流变化最大,正偏下最小,零偏介于二者之间.两款晶体管均表现出明显的低剂量率损伤增强效应(ELDRS),且在反偏下ELDRS更显著.并对出现这一实验结果的损伤机理进行了探讨.     

文教空间:一种承载人文教化理念的规划手段

<正>1.何谓文教空间中国城市历来重视文教职能,形成"兴教化、育英髦,有司者首务也","治天下之道,无过教与养二者而已"的观念。这些观念对城市规划建设影响深刻,累代形成将人文教化理念融入城市物质空间建设的优秀传统,"文教空间"便是这一传统的产物。文教即文化教育,文教空间即专门用以承载文教职能的空间,     

基于DOE-STD-1027的核燃料循环设施危险分类方法的改进与应用

简要介绍了DOE-STD-1027规定的非堆核设施危险分类方法,分析了其应用于核燃料循环设施时存在的问题：用于计算存量阈值的释放因子取值不具有保守性,以及剂量转换因子取自较早版本的ICRP出版物,而ICRP在后续的出版物中更新了这些因子。针对以上问题,提出了用DOE-HDBK-3010-94或NUREG/CR 6410提供的释放因子以及最新的ICRP出版物提供的剂量转换因子,修正DOE-STD-1027中危险分类放射性物质存量阈值的计算方法。采用此方法计算了采用天然铀和回收铀原料的危险2类重水堆核燃料元件制造设施与UF₆处理设施的存量阈值。