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71.
基于硅-玻璃键合工艺的扭摆式加速度计,其信号输出对扭转梁上的应力极敏感,而微加工过程中由于硅、玻璃两种材料热膨胀系数不匹配,会在扭转梁上引入较大的热应力,进而引起加速度计温度漂移。为此,提出一种具有应力隔离结构的扭摆式电容加速度计。通过缓冲折叠梁和内支撑框架的优化组合,使热应力难以传递到扭转梁上,从而有效降低加速度计的温度漂移。使用ANSYS软件对加速度计进行了模态和热应力分析,结果表明:工作模态的固有频率为1 352 Hz,远小于其他干扰模态的频率;加速度计的灵敏度为0.386pF/g(g=9.8m/s2);相同条件下,不带隔离结构的扭摆加速度计的热应力主要集中在扭转梁的末端,其最大应力约100 MPa;具有应力隔离结构的加速度计,其热应力主要集中在缓冲折叠梁上,而扭转梁上的应力约为1.7 MPa,仅为前者的1.7%。采用硅-玻璃键合和电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺,完成了加速度计芯片的制作。 相似文献
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一九五七年春,加拿大卤水公司(加拿大食盐公司的子公司)于温索尔从事开发卤水田。以供应联合化学公司索尔维法部的底特律厂。这个卤水田要具有每小时145吨的干盐(以卤水含有的NaCl盐量计不少于306克/升)的生产能力。主要考虑之一是使计划尽可迅速投入生产。设计了十八口卤井的系统,连同必需的2000加仑/分的抽水站,淡水和卤水管路,而且在一九五七年四月开始建设,一九五八年五月卤水田投入生产,而且在同年秋达到设计生产能力。卤井系统是用压裂法开拓的,压裂法系包括用高压水压裂矿层,使相邻的钻井连通,并溶介从这一口井通过盐层到另一口井的通道的一种技术。正是使用了这个技术,使卤水田以这样短的时间,发展到这种生产能力。 相似文献
74.
一台20年代的斯坦威复奏钢琴,一部纸带再生装置,一批本世纪初钢琴大师的钢琴纸带,加上一套现代的录音设备,便有了这批大师的最新录音CD…… 相似文献
75.
用两声道立体声获得三维环绕声音响效果的这种3D立体声处理技术,目前主要有:SRS、Spatializer、Qsound等。其中SRS(SoundRetrievalSystem)声音补偿系统的专利技术最早由美国休斯(Hughes)公司所拥有,后来SRS实验室收购了休斯公司的音响部门,同时也接收了所有的SRS技术。SRS实验室采用授权生产的方式,提供了SRS专利技术给生产厂家。Qsound专利技术是由加拿大Qsound实验室开发和拥有的。Qsound实验室为适应不同场合的需要,开发出许多类型不同的3D环绕声处理器。其中主要包括有Q1系列(主要适用于专业音响系统)、Q2系列… 相似文献
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技术的全新设计与艺术上的创新高度结合,在尊宝“旷世”(Con-cert)系列音箱上得到完美的再现。尊宝“旷世”系列音箱共有3款:Concert 8、Concert 11和Concert Cen-ter,它从音箱材料、喇叭单元用材和设计,到音箱内接线、端子、脚架及避震钉等,都是独具匠心的,在加工工艺方面做到了一丝不苟。丹麦尊 相似文献
80.
介绍了松套式伸缩节的结构特点,分析了使用该伸缩节的弯管段在内压作用下产生变形的原因及其应采取的防止措施。 相似文献