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《化工自动化及仪表》2012,(9):1239
西门子在南京推出了一款全新的经济型自动化解决方案。该解决方案是对现有西门子经济型产品线的重要补充,西门子将以相对有竞争力的价格和高产品质量来满足新兴市场客户的特殊要求。新推出的解决 相似文献
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为了降低多晶硅生产成本,对多晶硅生产中的重要环节——三氯氢硅(SiHCl,)还原生成多晶硅工艺进行了改进,将还原炉操作压力由常压提高至0.6MPa,比较了加压工艺与常压工艺在多晶硅的沉积速度、沉积时间、还原反应耗电量以及多晶硅产品质量等指标上的区别。结果表明,还原炉压力由常压(0.1MPa)提高至0.6MPa、H2和SiHCl,的量之比降低至3.5—5/1、SiHCl,和H2混合气的最大流量增加至2000kg/h、平均供气量约为980kg/h时,多晶硅的沉积时间由200h缩短至100h:沉积速度由7~8kg/h提高到20kg/h,提高了150%以上;反应所需的单位耗电量也从135kWh/kgSi降到75kWh/kgSi,降幅达44%,从而大幅降低了多晶硅的生产成本;同时,产品质量也得到极大的提升。 相似文献
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