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扫描投影光刻机主要由光学系统与工件台系统等组成.目前工件台所用的导轨主要有滑动导轨、滚珠导轨、液压导轨、气浮导轨等,其中以气浮导轨运动精度为最佳.精密气浮工件台是扫描投影光刻机的重要组成部分,工件台与扫描架联接在一起,直接影响扫描精度,而扫描精度又直接影响光刻机的分辨本领与套准精度.为了研制能刻划1.5μm 相似文献
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三相泡沫防治采空区煤炭自燃研究 总被引:2,自引:0,他引:2
针对目前煤矿防灭火技术与材料存在的一些不足,研制了一种用于防治采空区煤炭自燃的三相泡沫材料.简要介绍了三相泡沫的制备流程和主要技术参数;建立了采空区煤炭自燃过程的化学动力学方程,根据对方程中C,O2反应的物质的量浓度,煤体温度T,采空区的孔隙率γ等参数的控制,研究了三相泡沫防治采空区煤炭自燃的机理.结合三相泡沫在大兴煤矿N2703综放工作面采空区防治高温火源点的实际应用情况,对比了注三相泡沫前后取样气体中CO,O2体积浓度以及采空区温度丁的变化结果,有效地防治了煤炭自燃.应用结果表明三相泡沫防治采空区煤炭自燃的效果显著,是一种具有广阔应用前景的新型防灭火材料. 相似文献
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为响应国家“构建和谐社会”的号召,积极推进社会主义新农村的建设,充分利用数字技术推动“2131”工程,建立农村电影放映公共服务体系,针对农村和城镇社区电影节目短缺、发行周期长、发行成本高、放映质量差等问题,根据广电总局和电影局领导指示,总局电影数字节目管理中心承担的数字电影流动放映系统(简称dMs)试验取得成功,为数字电影在农村和社区的推广普及创造了条件。dMs系统通过“技术传输链、版权保护链、 相似文献
85.
负载分配是分布式系统的资源管理和任务调度的关键问题之一,本文在分析当前已有算法在负载的实时分配方面存在的问题基础上,提出了适用于P2P分布实时数据交换的高可用性混合负载均衡算法2PLB.该算法将处理结点的处理能力和网络流情况协同考虑,以一种静态负载均衡和动态负载均衡结合的自调节混合负载均衡算法实现用于实时任务调度和负载调节.相比单纯的静态负载均衡或者动态负载均衡算法,本文所提的算法避免了纯静态负载均衡算法在处理任务时不能满足可适应性问题,又克服了纯动态负载均衡在任务处理过程中由于维护动态负载状态和任务迁移而导致的计算复杂度等问题的缺点,所提算法对于大规模实时任务处理具有实时性强,易于调度,具有显著的可比性等特点,广域网络环境下的系统测试表明所提算法能够以对等模式提供高质量实时数据交换和共享服务. 相似文献
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87.
88.
本文充分阐明了党政机关办公通信用的传真机和计算机使用无线信道进行办公通信的必要性、迫切性和可行性。提供了一套在现有的短波和超短波无线电通话设备上进行无线传真和无线数传的实用系统。 相似文献
89.
90.
目的 开发铸件凝固过程位移场数值模拟程序 .方法 采用有限元增量变刚度法计算位移场 .结果 对实际铸件进行模拟 ,结果与理论分析一致 .结论 本研究工作是进一步模拟应力场和进行热裂预测的基础 . 相似文献