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81.
微机械热对流倾角仪温度补偿技术研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
王娟  徐淑静  徐爱东 《微纳电子技术》2006,43(8):393-396,404
介绍了微机械热对流倾角仪的工作原理和结构设计,利用有限元分析软件,计算了在不同倾斜状态下二维密闭腔中点热源引起的对流场和温度场,提出了环境温度对热对流倾角仪影响的模型。根据仿真结果,在电路中增加了加热丝恒定温度控制电路,建立了基于软件的环境温度补偿算法,实现了对温度影响的补偿。经测试,环境温度从-40℃变化到60℃时,倾角仪0°输入的温度稳定性为0.07°,10°输入的温度稳定性为0.02°。  相似文献   
82.
德国Fraunhofer组织,因其国内市场发展太平缓,现正在全世界寻求更多的发展机遇。现与日本东北大学刚签定一个新的合作项目,其联合的目的是为日本的中小企业开发微机电系统(MEMS),微机电系统通常采用由金属注射成形与陶瓷注射成形制造的微小零件。在日本仙台市正在建立一个新的科技园,专为中小企业设计、制造与开发应用微机电系统。  相似文献   
83.
84.
利用MEMS工艺制作了一种双层悬空结构的圆形片状微电感,并研究了其在S波段的性能。双层微电感的底层线圈制作在玻璃衬底平面上,外径为500μm,匝数为2,导线宽度70μm,导线间距15μm,顶层线圈的悬空高度为20μm,顶层线圈的匝数为1.5,其它结构参数与底层线圈相同。研究表明,所制作的双层结构微电感在2GHz~4GHz时其电感量达到2.2nH,其品质因数达到22。在制作过程中首次引入的光刻胶抛光工艺大大简化了微电感的制作过程。  相似文献   
85.
介绍了一种基于4mm微型马达的微小机器人系统的设计及制作。新颖的电磁型微马达的设计使得微机器人具有较强的驱动能力和一定的负载能力;全方位的结构设计使得微机器人具有高机动性;同时,利用视觉实现机器人与外部环境相互感知,并在其基础上对整个机器人系统的控制结构设计进行了探索。  相似文献   
86.
一种PDMS薄膜型微阀的制备与性能分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
通过厚胶光刻工艺在硅片上制备SU-8胶模板,利用该模板制备了高分子聚合物PDMS(Polvdimethvlsiloxane,聚二甲基硅氧烷)微流道和薄膜结构。通过对不同结构的两层PDMS的不可逆粘接得到一种简单的阀结构,在外加气源压力作用下薄膜产生变形实现对微流道的控制。实验测量了微阀的控制气源压力与被控制液体流量之间的关系,说明膜阀的开闭性能良好。根据弹性薄膜的变形理论,对影响微阀性能的参数进行了分析,并提出了几种可行的用于薄膜微阀控制的方法。  相似文献   
87.
基于网络处理器的RPR综合业务接入平台的设计   总被引:1,自引:1,他引:0  
弹性分组环(RPR)是一种新的城域网技术,文章提出了用网络处理器IXP1 200构建RPR综合业务接入平台的设计方案,并重点讲述了其中微引擎部分的软件设计.  相似文献   
88.
《计算机应用文摘》2006,(3):102-105
在局域网中隐身;QQ的性别也另类;一次性关闭所有驱动器的自动播放;闪盘剩余空间很大但不能拷贝文件;IBM笔记本电脑无Win键的解决办法;计算光盘可超刻的容量;取消POPO的自动播放功能;如何管理QQ中的摄像头;更改Google Talk昵称;  相似文献   
89.
热声制冷机及其改进实验研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
热声制冷作为一种很有前途的制冷方法,在国内外相关领域引起了极大兴趣。热声制冷机由声发生器、共振管、板叠及高、低温换热器等部分组成。对声驱动器的振动膜及其冷却系统、气体弹簧系统、高、低温换热器进行了初步改进,使制冷机冷端温降从原来的12℃提高到27℃左右,这是目前国内报道的最大温降。  相似文献   
90.
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