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81.
单晓锋  杨建红 《半导体技术》2010,35(11):1138-1141
以菲克第二扩散定律为基础,建立湿度传感器器件三明治结构模型,对聚酰亚胺电容型湿度传感器进行全面数值模拟,分析其电场分布、升降湿的动态过程及响应时间,并与实验结果进行对比分析.引入了自由体积理论对湿度传感器升、降湿过程的影响,使模拟过程更加符合实际情况,结果显示模拟结果和实验数据吻合良好,并根据对模拟结果分析,发现电极宽度是制约传感器性能的关键参数.该模型能够较准确预测制备的电容型湿度传感器性能,以此来指导高性能湿度传感器研究.  相似文献   
82.
针对专用高能量注入设备价格昂贵、维护成本高等问题,研究了一种基于二价、三价离子束流提升中低能设备能量上限的离子注入工艺。利用离化质量分析谱线分析了多价离子的筛选,介绍了元素沾污和能量沾污的工艺风险及其防治方法,设计了多价离子和单价离子注入的对比实验。结果表明,在注入到硅片的多价离子与单价离子总能量相等的条件下,二者注入结深一致,测试片的方块电阻差异仅为2.5%,验证了此工艺的可行性,以期达到充分发挥设备潜力、优化产品工艺的目的。  相似文献   
83.
加工坐标系和涡旋体旋转坐标系偏差会引起较大的侧面啮合间隙,加工坐标系的在线调整能提高涡旋体加工精度.基于极坐标系开发了涡旋体侧面轮廓快速测量系统,可调对齐平台能精确确定测量坐标系原点.分析并去除了测量系统误差,通过涡旋体径向误差三维粒子群寻优计算,得到加工坐标系和涡旋体旋转坐标系的坐标偏差和旋转角度偏差.新的测量系统获得了同三坐标测量机(CMM)相同的测量结果,同时测量时间从20 min缩短为180 s,测量环境和测量时间能满足涡旋体在线加工补偿的要求.  相似文献   
84.
研究了Cu-19Ni-17Fe-19Cr合金在800,850,900℃下纯氧环境中的高温氧化行为。利用增重法拟合合金在不同温度下的氧化动力学曲线,通过XRD,SEM及EDS对氧化膜成分及形貌进行分析,探讨了合金的氧化机制。结果表明:合金的氧化动力学曲线在800℃时遵循抛物线规律,850,900℃时符合立方抛物线规律,氧化过程中合金表面生成复合氧化膜,氧化膜由各组元的混合氧化物组成,最外层为CuO,次外层以Cr2O3为主,随着氧化温度的升高,CuO膜层会横向生长覆盖Cr2O3膜层,综合分析表明合金在850℃下具有良好的高温抗氧化性。  相似文献   
85.
为探究TiO2晶型(锐钛矿型和金红石型)对微波加热制备TiB2粉体的影响,分别以锐钛矿型和金红石型TiO2为钛源,B4C为硼源,炭黑为碳源,在微波加热的条件下通过硼热/碳热还原法快速制备了TiB2粉体,探讨了TiO2晶型对微波加热制备TiB2粉体的物相组成、显微结构以及C和O杂质含量的影响。结果表明:在微波加热条件下,2种晶型TiO2原料在1 450℃反应20 min后均可制备纯相TiB2粉体,其中金红石型TiO2制备的TiB2粉体呈规则的六方片状结构,晶粒发育较为完善。而锐钛矿型TiO2制备的TiB2则为近似球状结构。相比较,金红石型TiO2作为硼源更有利于制备高纯度、晶型完整的TiB2粉体。  相似文献   
86.
采用TG/DTG研究了TiB2阴极涂层中树脂和沥青的热失重过程,采用SEM和XRD研究了在不同升温制度条件下TiB2阴极涂层的显微组织,获得TiB2阴极涂层的较优升温制度。结果表明:炭化工艺应采用"两头快、中间慢"的升温制度,才能保证材料炭化烧结的成品率和均质化;采用T2工艺制备的样品物相组成为TiB2和石墨C,其表层无裂纹、气泡及孔洞,涂层与石墨基体粘接也良好,符合铝电解石墨基惰性阴极的生产条件。  相似文献   
87.
针对铁电薄膜/GaN基FET结构,利用数值方法研究了铁电栅材料自发极化强度PS变化对GaN基表面电子浓度nS和场效应晶体管转移特性Id-Vg的影响,给出了典型PS和εr值下跨导gm与Vg的关系。结果表明:零栅压下,nS在随PS(0~±59μC/cm2)变化时有4~6个数量级的提高或降低;当Vg=0.65V、PS为-26~26μC/cm2时,nS提高约4个数量级;负栅压下,nS因受引起电子耗尽的PS的影响而降低6~7个数量级,而PS未对Id-Vg产生明显影响,跨导gm在1V左右的栅偏压下达到最大值。这些结果对利用铁电极化和退极化可能改善新型器件性能的研究具有重要意义。  相似文献   
88.
故障电弧产生的伴生信号主要有弧光、短路电流、弧声.实验研究表明,弧前声音信号能作为故障电弧的早期表征信息,对弧前声音混沌时间序列进行相位空间重构,基于模型LE法确定混沌检测系统内置信号阚值,基于Lyapunov指数的故障电弧弧前声音信号混沌检测方法,能定量地识别湮没在复杂背景噪声中弧前声音信号.若最大Lyapunov指数大于零,表明由弧前声音信息产生,以弧前声音信息为判据提出弧前预警算法.  相似文献   
89.
共沉淀法制备掺杂氧化锌压敏陶瓷粉料热力学分析   总被引:12,自引:0,他引:12  
本文通过对Men+(Zn2+;Cr,Mn2+;Sb3+,Bi3+,Co2+)-NH-CO2--HO体系进行热力学分析的基础上,获得了Me-NH-CO2-O体系中的lg[M]T-pH关系图,得到了用NHHCO和NH·HO作沉淀剂,用共沉淀法制备掺杂氧化锌压敏陶瓷粉料时,最佳共沉淀pH为7.0左右.  相似文献   
90.
文档/视图结构是在Visual C 中使用MFC开发基于文档的应用程序的基本框架,在这个框架中,数据的维护及显示分别由两个不同但彼此紧密相关的对象——文档和视图来负责.单文档接口(SDI)应用程序和多文档接口(MDI)应用程序是基于这种结构的两种应用程序类型,本文以单文档接口应用程序为主,对基于文档/视图结构的应用程序的基本框架结构作了较为细致的分析.  相似文献   
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