一种基于图像处理的半导体刻线边缘粗糙度的确定方法

随着半导体技术的不断发展 ,半导体刻线临界尺寸不断降低 ,线边缘粗糙度对元件性能的影响越来越大。本文综合运用图像处理中的直方图图像描述、阈值化描述以及Sobel算子提取半导体刻线的边缘 ,并根据边缘计算了粗糙度。最后给出了一个样本的实际测量结果并加以分析 ,结果表明这一方法可以用来测量和分析临界尺寸刻线边缘粗糙度     

从不完备数据中获取诊断规则的粗糙集方法

在故障诊断中，从不完备数据中获取规则要比从完备数据中获取规则困难。利用给出的分辨矩阵基元的定义，提出了一种直接从不完备数据中获取最优广义诊断决策规则的粗糙集方法。该方法以极大相容块为单位构造了不完备故障决策表的分辨矩阵中的列元素，实现了不完备故障诊断决策表中面向对象的约简计算和最优广义故障诊断规则的获取。该方法不需要改变原始不完备故障诊断决策表的规模，且具有更高的约简计算效率。结合电力系统操作点的安全状态诊断实例给出了所提出的方法在工程实践中的应用步骤，并证明了该方法的有效性。     

聚合物中纳米粒子气泡膨胀分散方法

提出了一种聚合物中纳米粒子气泡膨胀分散方法,并应用该方法制备了环氧树脂/SiO₂纳米复合材料。该方法将纳米粒子团聚体和压缩气体一同注射到聚合物熔体（溶液）中,形成内含纳米粒子的微气泡,并利用气泡急速膨胀时引起的高速拉伸作用实现纳米粒子在聚合物中的均匀分散。在对分散机理进行分析的基础上,通过数值仿真计算对其分散能力进行了分析。对气泡膨胀分散法制备的环氧树脂/SiO₂纳米复合材料进行了透射电镜（TEM）分析和DSC分析,结果表明,样品中SiO₂粒子粒径在15～30 nm之间,其玻璃化温度比高速搅拌法制备的对比样品高18℃。     

纳米尺度线宽粗糙度测量技术

综述了纳米尺度线宽粗糙度测量研究现状.分别论述了线宽粗糙度定义、各种测量工具的优缺点、目前线宽粗糙度采用的测量方法、分析方法及其表征参数,讨论了线宽粗糙度的测量障碍.分析了线宽粗糙度测量不确定度的构成,讨论了采用原子力显微镜为工具的线宽粗糙度测量的影响因素.     

原子力显微镜微悬臂梁杨氏模量动态测试方法

原子力显微镜微悬臂梁是微纳米领域重要的微力传感器,而微悬臂梁的杨氏模量又是决定其力学性能的重要参数.由于微悬臂梁的尺寸处于微米级,有些特征尺寸甚至达到纳米级,常规的测试结构材料特性的检测方法已经难以满足需求,急需研究新的测试方法和装置对微悬臂梁的机械特性进行研究和分析.本文提出了一种基于微悬臂梁振动固有频率测试的杨氏模量测试方法.使用本方法时,首先建立待测微悬臂梁在空气中的振动模型,并使用数值仿真的方法计算结构尺寸相同但杨氏模量不同的各种微悬臂梁在空气中的振动固有频率,然后实际测量微悬臂梁的振动固有频率,和实验结果最接近的仿真结果所对应的杨氏模量参数就是待测微悬臂梁的杨氏模量.本文最后对Mikromaseh公司生产的NSC型探针的杨氏模量进行了测试,实验结果证实了本文提出的方法的正确性.     

纳米尺度线宽测量技术的研究

纳米尺度线宽的测量在半导体集成电路制造业、数据存储工业以及微机电系统等领域广泛应用。随着制造技术的进步,线宽的临界尺寸也变得越来越小,目前已经缩小至100nm左右。在这一尺度范围内,由于样本制造技术的限制和测量仪器的影响,很难得到精确的测量结果。针对目前纳米尺度线宽测量的研究状况,分析了这一领域的主要研究内容和面临的问题。     

基于等效面积法的线宽及线宽粗糙度测量

建立一种基于刻线边缘轮廓特征求取刻线线宽和线宽粗糙度的测量方法。理想情况下,刻线线宽方向截面为矩形,面积为该矩形高度和宽度的乘积。实际测量中,沿刻线线宽方向截面为一多边形,认为该多边形面积S1和理想矩形面积S相等。利用Tsai给出的台阶高度算法计算刻线单扫描轮廓的高度以获得线宽截面高度H。刻线等效宽度We可根据上述高度H和截面面积S1求出。线宽粗糙度定义为线宽变化的3倍标准偏差,因此线宽粗糙度也能用该方法求出。     

北京冬奥会冰壶赛事项目音频系统与制作理念

随着北京冬季奥运会的成功举办,冰壶项目作为热门项目获得了极大的关注度。如何用声音元素呈现冰壶赛事精彩纷呈的比赛盛况,成为广大录音工程师新的研究课题。以北京冬奥会冰壶项目为例,阐述了公共信号制作的制作格式、声道分配、声音响度等技术制作需求,梳理冰壶项目转播的音频系统构架、三维声音频制作拾音方案、混音制作的声音制作观念,分析冰壶赛事音频制作与传统的立体声环绕声的声音制作方法的理念差异,为冰壶赛事项目的音频制作提供一些参考。     

腈纶丝生产中的包装带自动热合机的研制

本文在工艺参数的基础上 ,确定了加热机构和挤压机构的关键技术参数。为了提高生产效率 ,本文提出了双边四热合机构的系统设计思想 ,使自动热合机与前道工序的挤出机匹配而形成自动生产线。本文还介绍了该机的机械系统组成和工作流程 ,并对控制系统的软件和硬件作了说明。该自动热合机具有成本低、智能化高和条带热合后抗拉强度高等优点。     

表面粗糙度的激光及相关在线测量方法

随着机械加工自动化程度的提高 ,对表面粗糙度在线测量提出了越来越高的要求。目前 ,为了提高生产效率和实现生产的自动化 ,生产过程中实时检测愈加受到重视。传统的触针测量法 ,由于测量速度和测量条件的原因 ,不适于在线检测。光学测量方法近年发展很快 ,它是一种非接触测量法。根据测量原理可以归纳为干涉测量法、聚焦测量法、散射测量法、散斑测量法四种。本文重点介绍了这些技术进行表面粗糙度在线测量的原理和目前的研究结果。并对这些方法发展前景进行了分析和预测