刍动抄表系统应用意义及解决方案

当前，我国水、电、气的计量收费管理，大多采用管理单位的抄表员登门入户进行人工抄表收费的方式。这种收费方式，存在着许多弊端。对用户来说，生活常遭陌生人的打扰，而对抄表员来说，需要楼上楼下地跑，还常吃“闭门羹”：加之社会上不法分子乘机冒名抄表入室抢劫，极易引发社会治安问题；况且，随着水、电、气价格的上扬和用量的加大，     

工艺参数对GLSI铜互连阻挡层CMP抛光效果的影响

采用无氧化剂、无抑制剂的弱碱性抛光液对阻挡层材料进行化学机械抛光(CMP)。研究了胶体二氧化硅质量分数、抛光液流量、抛头转速、抛盘转速等工艺参数对Cu和正硅酸乙酯(TEOS)去除速率及铜互连钽基阻挡层图形片CMP后表面缺陷数量的影响。在Si O2磨料质量分数7.5%、抛光液流量250 mL/min、抛头转速107 r/min和抛盘转速113 r/min的条件下CMP时，Cu的去除速率为521?/min,TEOS的去除速率为878?/min,TEOS/Cu去除速率选择比为1.68，对图形片表面碟形坑和蚀坑分别修正了400?和200?，缺陷数低至57，表面粗糙度(Sq)低至0.778 nm。     

超超临界1000 MW机组高压缸通流能力与缸效率分析

早期投产的超超临界1000 MW机组改造前高压缸通流能力下降、效率降低,导致机组发电出力不足、能耗指标上升。某机组改造前4阀全开工况高压缸效率为84.13%,3阀全开工况高压缸效率为82.52%,均较此前1年的试验值明显下降,机组最大出力工况修正后发电功率降低93.27 MW,修正后主汽流量降低136.73 t/h。该机组通流部分改造后,高压缸通流能力和效率大幅度提高,高压缸进汽能力比设计值大3.19%,机组发电出力能够达到额定工况的设计值1030.05 MW,高压缸效率为91.20%,比设计值88.97%高2.23%,更远高于改造前4阀全开工况、3阀全开工况的高压缸效率。与改造前4阀全开工况相比,高压缸效率提高7.07%,使得机组热耗率降低114.53 kJ/kWh,高压缸通流改造的节能效果明显。