基于加速度计的数字式倾角仪的设计

所设计的数字式倾角仪是一种基于MEMS热电偶加速度计的智能测量仪,可用于测量0°~360°倾角,同时,针对环境温度变化时对加速度计的影响,通过软件进行了补偿,测试表明:该倾角仪的测量精度达±0. 1°,并具有良好的工作稳定性和较高的性价比。     

微机械加速度计的集成化数字接口

在传感器技术的发展过程中,传统模拟输出传感器由于具有一些固有局限,正在逐渐被数字输出传感器所取代.数字技术的应用使传统传感器成为智能传感器,并具有集成化、智能化、网络化、系统化等新特点.介绍以传统模拟传感器技术为基础,在惯性测量器件--微机械加速度传感器上集成数字接口,使之成为智能化传感器的一种设计方案.     

微振测试系统在实际工程中的应用

为解决工程中微振动测试，采用低频高灵敏度加速度计与极低频电荷放大器，同VXI／E1432A构成测试系统硬件，结合Tdas分析软件，组成了微振加速度测试系统，进行微振加速度测试。结果表明，该系统有较高的测试精度，具有实际应用与推广价值。     

军工技术为民服务--奋进中的北京长城计量测试技术研究所

中国航空工业第一集团公司北京长城计量测试技术研究所(国防科工委第一计量测试研究中心)始建于20世纪50年代初．是专门从事国防计量测试技术、计量标准、计量方法研究和计量标准装置、计量器具制造的综合性研究所。现有职工600余人，其中研究员、高级工程师等工程技术人员400余人。研究所占地面积16.7万     

基于MCU的加速度计线性误差补偿方法

为了提高加速度计的线性度,实现对加速度的精确测量,采用MCU(单片机)系统.在建立加速度计线性误差数学模型的基础上,给出了利用MCU软件实现线性补偿的方法,并在硅桥式半导体加速度计上进行应用,结果表明加速度计的线性度提高了一个数量级,因此采用MCU实现加速度计的线性补偿是非常有效的.     

光弹光纤加速度传感器的研究与设计

以波长为632.8nm的激光为光源,以重火石玻璃(ZF6)作为敏感元件设计了一种光弹光纤加速度计.由于加速度a的变化产生光强的变化,故利用偏振光干涉原理测出出射光强、利用差动原理处理数据,则可测得加速度a.该仪器的主要设计参数:自然频率fn=1056Hz,相位检测灵敏度ΔΦ/a=1.83×10-3rad/(m·s-2),工作频带为0～317Hz.     

基于等效电路法的微加速度计系统建模研究

讨论一类硅微闭环电容式加速度计系统级动态模型的建模过程与方法.MEMS（micro-electro-mechanical system）快速有效的系统级模拟依赖于准确简洁的器件宏模型的建立.文中首先针对一种基本机电换能器件进行研究,利用二元函数的Taylor公式,建立器件偏置点附近增量信号间的线性关系,进而建立可用等效电路形式描述的器件宏模型.以此为基础,分别探讨传感器中检测和加力两类差动电容模型的建立方法及其与外部环境的联接,得到可利用电路模拟软件进行分析的系统级等效电路.通过仿真实例验证模型的正确性,并简要讨论系统的主要动态特性.这些工作为进一步的系统仿真和全局优化提供可靠的模型基础.     

基于水银的电容式加速度计研究

探索一种基于新原理的加速度计,从根本上解决加速度计在弹性结构设计方面高灵敏度和抗高过载之间存在的矛盾;利用微滴水银作为对加速度敏感的弹性电极与硅片上电极构成电容式硅微加速度计,并可利用MEMS工艺来实现;通过建模仿真,水银电容加速度计的灵敏度要高于传统的MEMS电容加速度计;这种加速度计具有结构简单、对硅微加工工艺要求低、易于实现三维加速度测量的突出优点;对于冲击环境下的惯性测量有不可替代的作用.     

基于Σ-Δ调制技术的微加速度计系统研究

论述了Σ-Δ调制器的基本原理,将Σ-Δ调制技术应用于微加速度计系统,设计了一种新型的微加速度计,建立了系统模型。并对系统的频率特性进行了分析,表明基于该技术的微加速度计系统在工作频段内噪声能够得到有效的消除,且具有近似的线性相位。     

电容式微加速度传感器控制电路研究

本文首先阐述了电容式微加速度传感器的一般结构及系统建模方法，然后提出一种静电力反馈平衡控制电路，先通过高频调制信号产生检测电压，再经过ＰＩ反馈控制器产生静电反馈力，以提高传感器的噪声抑制能力、输出线性度和动态响应范围。