用PECVD技术淀积PbTiO3薄膜

采用ＰＥＣＶＤ技术，以Ｐｂ（Ｃ２Ｈ５）、ＨｉＣｌ４和Ｏ２为反应源，在１７０℃温度下沉积了ＰｂＴｉＯ３功能薄膜，分别对薄膜进行了Ｘ射线荧光光谱、Ｘ光电子能谱、Ｘ射线衍射光谱和扫描电镜的化学组成及形貌等分析。     

盘形胀套式定心钻孔夹具

我们在批量加工轿车制动盘上的螺纹底孔时,由于孔位精度要求较高,开始采用的三点定心钻孔夹具,其三点胀紧力度不够,在钻孔时有微量位移,致使孔位达不到图样要求。后来,我们改进设计了一种盘形胀套式定心钻孔夹具,较好地解决了上述质量问题。     

图象识别自动对准

<正> 概 述 在大规模集成电路生产中,自动对准技术是极其关键的一项技术,它主要解决IC生产中的图形刻套问题,以提高产品成品率及生产效率。该技术是西方发达国家对我国微电子工业发展实行技术封锁与控制的重点,也是自七十年代初至今这二十余年来严重困扰和阻碍我国集成电路制造与发展的一项久攻未破的老大难问题。我所作为我国专门从     

等离子体技术及其在“三废”处理中的应用

阐述等离子体的概念、分类、特点和作用机理,从大气污染、水污染、固体废物治理三个方面简述在"三废"处理中各种等离子体技术的应用及特点,分析其存在的问题,展示了等离子体技术在环境保护中的应用前景.     

攀钢高炉焖砂口试验

分析了高炉冶练钒钛磁铁矿炉前砂口损坏的原因。对新型砂口泥进研制，同时改进了套砂口工艺，满足了攀钢高炉焖砂口的需要。攀钢高炉采用闷砂口工艺后，从根本上解决了铁水带渣问题，提高了铁水的洁净度。     

微波电子回旋共振等离子体技术及其应用

微波电子回旋共振等离子体是淀积薄膜、微细加工和材料表面改性的一种重要手段。由于这种等离子体电离水平高,化学活性好,可以用来实现基片上薄膜的室温化学气相淀积和反应离子刻蚀,因此对于微电子学、光电子学和薄膜传感器件的发展,这种等离子体会具有重要的意义。此外,采用微波电子回旋共振等离子体原理,没有灯丝的离子源可以提高离子源的使用寿命,可以增加离子束的束流密度。可以确信,微波电子回旋共振等离子体的发展,将把离子源技术提高到一个新的水平。显然,这必将对材料表面改性工艺,包括离子注入掺杂等工艺的发展发挥作用。自从1985年以来,为了得到大容积等离子体而发展了微波电子回旋共振多磁极等离子体,这些技术在薄膜技术、微细加工以及材料表面改性中的应用前景是乐观的。我们将在本文中,介绍微波电子回旋共振等离子体的原理及其应用。     

利用表面等离子体波共振效应(SPRE)对角度与共振波长关系的研究

本文利用了Kretchmann模型的表面等离子体波共振效应，研究了共振波长对入射角变化的敏感性，从而为研制一种新的角度传感器提供了依据。