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在p型(100)单晶Si基衬底上,利用磁控溅射设备完成直流溅射Mo/Ti布拉格反射层和射频反应溅射AlN压电层,用光刻微加工工艺设计了不同谐振面积与电极图案的Ti/Au上电极,在优化工艺条件下制备了氮化铝基体声波质量传感器,比较分析了不同电极图案和谐振面积对传感器性能的影响。研究表明,电极图案相同时,谐振面积为10 000(100×100)μm2的器件电学性能最好,谐振面积相同时,电极图案为圆形的损耗最小;内角为直角的正方形损耗最大,内角为钝角的五边形损耗居中。 相似文献
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测试结果显示六盘山盆地白垩系李洼峡组包裹体主要集中在石英颗粒裂隙、石英次生加大边和方解石胶结物中,以单相液态油包裹体居多;样品有机包裹体均一温度分布于70℃~95℃之间,峰值在80℃~85℃之间,同期盐水包裹体的峰值为90℃~100℃;综合分析认为李洼峡组油气为白垩系烃源岩的初次排烃充注形成,充注的时间为晚白垩世晚期(65~75Ma)。 相似文献
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<正>加大责任、加强监督、加重处罚,是新《安全生产法》的题中之义。我国安全生产或将迎来史上最严《安全生产法》。经全国人大常委会审议并于今年12月1日起施行的新修订的《安全生产法》对安全生产违法行为的责任追究力度大大提升:建立严重违法行为公告和通报 相似文献
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在上海某钢铁厂COREX制粉系统的设计过程中,在理论分析和充分调研的基础上,对烟气自循环系统中各参数的选择及设备的选型进行分析。结果表明:COREX高炉制粉系统所用煤气的热值远高于普通高炉煤气的,在温度为80℃,磨煤机的出口温度不变的情况下,自循环烟气量比常规高炉制粉系统的少;系统配备了保安N2气系统,烟气中O2的体积分数大于12%,CO的体积分数大于0.03%时,自动充入N2,确保了系统的安全运行;与直排式工艺相比,自循环风可增加磨机的动力,有利于煤粉载出,烟气温度也得到利用,节约了能源,并且避免了外界因素对系统的干扰,系统运行更加稳定。 相似文献
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利用反应溅射的方法沉积Ta2O5高介电薄膜,研究了溅射过程中氧气与氩气的体积流量比Ψ(O2:Ar)对薄膜电学性能的影响。结果表明,制备的薄膜退火后为多晶态四方结构的β-Ta2O5。随着Ψ(O2:Ar)的增大,薄膜的沉积速率逐渐减小,积累电容逐渐增大,等效氧化层厚度逐渐减小,平带电容增大,氧化层中可动离子电荷密度逐渐减小。当Ψ(O2:Ar)=6:5时,所沉积Ta2O5薄膜的相对介电常数r最大,为38.32;当Ψ(O2:Ar)=2:5时,漏电流密度最小,仅为7.7×10–7A/cm2。 相似文献
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100.
减压自动煮茧机采用"真空+"技术,PLC程序控制,真空渗透与煮茧一体化结构完成煮茧。可以根据原料特性采用一次、二次渗透;减压状态下进行吐水、蒸煮;在调整保护过程中按照制丝生产要求,设定调整水、渗透水、常温水的进水量并在减压状态下完成。可以充分均衡煮熟蚕茧内层的同时又保护了蚕茧外层。为了让生产企业更好地掌握减压煮茧机特性,文章分析了减压自动煮茧机的工作原理及工艺参数设置及调试方法,以JYZJ-20190530程序为例详细阐述了各个时序作用,并介绍了多家企业实际生产的工艺经验,以利于制丝企业提高煮茧质量。 相似文献