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用MOCVD方法生长二氧化钛膜的研究 总被引:6,自引:1,他引:5
二氧化钛用MOCVD方法生长于硅衬底上,膜厚在0.1~1μm之间.本文考察了温度对生长速率的影响,其中生长速率与衬底温度和有机源的温度都成指数关系,并通过作图求出钛源的活化能Ea=1.05eV.TEM测试结果表明,生成的二氧化钛是多晶膜,为锐钛矿结构.将样品作XPS分析,测试出Ti3+随氧气流量的增加而减少,进一步研究表明,二氧化钛是n型半导体,它的电阻率随钛三价离子的减少而增大. 相似文献
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环境资源共有产权的特性使得社会成员只能通过自身感知和理解确定对环境资源的产权边界,并且产权的实施是非排他的,所以与环境资源有关的负外部性较其他具有直接因果关系的外部性特殊。在治理这类负外部性的过程中,产权理论也有了新的发展。本文从分析环境资源产权的特殊性入手,对于产权弱化、产权分割、创建新产权和自愿合作基础上认知产权调整等负外部性内部化理论进行了分析。 相似文献
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给出了一种新型的脉冲整流器,详细地介绍了其工作原理和控制方案,并对该整流器及其控制系统建立了MATLAB仿真模型,仿真结果验证了该方案的优越性。 相似文献
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何国金 《组合机床与自动化加工技术》1985,(3)
本文提出一种气动行程程序逻辑回路设计的新方法 ——X-D阵列法。应用这种方法的设计步骤是:首先根据已知的气动系统工作程序,列出行程检测信号——气缸动作状态阵列(即X-D阵列),然后按一定的原则和方法,在这种阵列中直观地进行校正程序,判别并消除障碍,直接得到气缸动作状态的最简单的逻辑表达式。图7幅,参考文献2则. 相似文献