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本文对准直激光束检测非球面方法进行了研究。它不用接触被检件表面,同时也无须处理干涉条纹。测量时只要保证激光细束保持一致的入射方向扫描被检表面,用CCD光电探测器检出面形的斜率变化,而后在扫描范围内积分便能获得面形高度。本文以测量光学系统中用于波面补偿目的的旋转对称镜面为例对测量系统进行分析。该系统不仅可以进行一维测量,通过转台旋转亦可进行二维测量,通过面形重构获得三维的被测体面形。给出了三维面形重构方法,并编制数据处理软件,可以把测量数据处理成高度曲线或三维面形。 相似文献
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PCB用曝光机之平行光系统 总被引:3,自引:1,他引:2
引言 目前的PCB线路制作,绝大多数采用曝光机,应用UV达成摄像转移。但随着HDI时代的到来,PCB使用者及设计者则希望线路密度提升,传统摄像转移工艺使用的曝光机均属于散射光源,其斜角达25度,致使图形转移失真。目前台制设备或国外先进设备商均已开发出平行光系统,并为大型PCB厂家所接受。而目前 相似文献
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