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1.
对准标记精确定位是晶圆键合精度实现的关键,为了提高对准标记定位算法的精度、实时性及适应性,提出了一种基于
边缘检测拟合定位的高精度对准标记定位算法。 该方法结合分级金字塔模型对对准标记进行逐级定位,获得像素级的目标区
域粗定位结果,根据目标区域粗定位结果,结合 Canny 检测器与改进的高斯拟合法,对对准标记的亚像素轮廓进行拟合,在此基
础上结合中心对称的对准标记特征,利用改进后的最小二乘法快速拟合对准标记的中心位置,实现对准标记的精确定位。 通过
实验验证了该方法的有效性,实验结果表明,提出的对准标记定位算法在快速定位目标区域的同时,可实现约 0. 06 μm 的重复
定位误差,满足了晶圆键合对准的精度、实时性和适应性的需求。 相似文献
2.
自适应跑步机是康复医疗和人体工程学的研究热点,也是虚拟现实运动输入设备的重要组成部分。针对自适应跑步机上人体位置相对地面几乎无变化,很难通过简单的位置差分获得到人体运动速度的问题,提出了一种适应性广、无标记点、非接触式的行走速度估计方法。将Kinect采集到的人体关节点位置数据通过四元数标定、高斯滤波和三次样条插值处理后,用步长修正算法计算出行走时的步态时空参数。基于步态时空参数估计使用者在自适应跑步机上行走时的速度。在固定速度的跑步机上,通过将速度估计值与所设定的跑步机实际速度进行对比,验证了速度估计算法有效性,该速度估计算法可以适用于自适应跑步机的控制算法开发。 相似文献
3.
利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时,常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先,介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原理和结构,在系统理论建模及模型辨识的基础上,针对非线性系统模型进行了高阶线性化拟合,并结合系统振动测试实验结果,设计了系统控制器。然后,对设计的控制器进行了实际控制调试,实现了系统的超精密控制。最后,针对系统控制误差纹波,采用频域分析方法揭示了影响系统控制精度的主要因素,提出了未来提升系统控制精度的方法。测试结果显示:系统相位锁定控制精度可达±0.046 1rad(3σ)且以高频误差纹波形式呈现。分析了高频误差纹波的成因,指出受系统噪声、延迟、控制器参数等因素限制,控制器很难完全抑制频段跨度大而连续的高频微振动引起的干涉图形相位漂移。 相似文献
4.
为了实现微靶装配体的自动装配并保证装配精度,提出了一种通过弹性变形与半圆柱靶腔实现柔性夹持与自定心的装置.该装置的核心部件是柔性夹紧件,由橡胶材料加工而成,用于对内直径仅为800~1 000μm、壁厚约25~75μm的半圆柱靶腔的夹持.利用有限元软件对上述柔性夹紧件的结构设计是否合理进行分析和验证,通过反复的设计和修改以及软件分析和仿真验证,最终确定了一种较为合理的夹紧件结构设计方案.该设计方案不仅能满足对夹持半圆柱靶腔所提出的大部分要求,而且可以实现对其他类似形状的微小、薄壁的圆柱形物体的夹持. 相似文献
5.
6.
杨开明 《西华大学学报(自然科学版)》2001,20(2):23-26
基于地下建筑的特殊性和技术经济要求,提出了将平时的通风和火灾时期的排烟结合起来的通风排烟方法,代替传统的各自独立的系统,并采用质量平衡法进行排风量计算,对通风装置,特别是风机也进行了分析. 相似文献
7.
住宅厨房的环境污染及其通风排烟措施 总被引:2,自引:0,他引:2
杨开明 《四川工业学院学报》2001,20(4):39-41,51
在分析厨房环境污染的基础上,计算了厨房的排风量和补送风问题,并比较了常见的排烟装置的性能,提出了排烟共用烟道的设计形成及计算问题。 相似文献
8.
数字化处理软件生成的CNC代码应用于数字化加工时,存在着刀具轨迹不一致的问题.根据进给位置和模型边界的特征,运用转角法识别原理,识别出模型的边界,以剔除掉数字化采集数据中模型边界以外的数据.该方法对采集的数据进行离线处理,可显著提高刀具轨迹的效率和数字化加工效率.实验表明,该方法效果良好,在数字化加工中有一定的推广价值 相似文献
9.
基于RTLinux的开放式数控系统研究 总被引:14,自引:0,他引:14
本文构造了基于RTLinux的开放式数控系统,介绍了系统的软硬件结构以及多任务通信机制。 相似文献
10.