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射频电感耦合等离子体(ICP)在实际放电过程中,线圈的构型、电源参数、气压等外部工质条件的变化均会对结果产生较大影响,依靠实验很难得到多外部条件对ICP参数分布的影响机理和规律,因此需要结合仿真和实验的方法进行分析。该文通过建立感性线圈的电磁学有限元模型,分析不同线圈构型下射频电磁场在等离子体内部的空间分布,研究放电参数(线圈构型、功率大小)对等离子体分布影响和E-H模型下放电形态的跳变过程,并观察进入稳定H模式后电源参数的变化规律,为等离子体源的小型化工程应用提供理论基础。实验和仿真计算结果表明:不同线圈匝数在不同功率条件下,电磁场强度变化对等离子功率吸收和功率耦合有较大影响;当工作气压在0~20Pa时,ICP的电子密度呈轴对称分布,随着放电功率、气压的增大,等离子体吸收的功率和电离度也随之增加,其电子密度相应地增大,放电功率的增加会使得环状的等离子体区域随之扩大,在轴向、径向上的分布呈先逐渐增大而后在靠近腔室壁面区域迅速下降。  相似文献   
3.
随着5G时代的到来,天线与射频接口高度集成,传统的传导测试已无法适应新一代无线通信设备的测试要求,越来越多的射频性能指标需要采用空口而非传导方式进行测试.以误差幅度矢量(EVM)为代表,射频性能指标对于传统的空口测试系统及方法提出了不同以往的要求.紧缩场、近远场变换等新系统被用于替代传统的远场测试系统.文章结合3GPP及近年的相关参考文献,介绍了几种5G射频性能测试的空口测试方法并做了比较,着重讨论了EVM的定义、测试流程和校准方法等问题,展望了射频性能测试的未来发展方向.  相似文献   
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为了实现电镀件质量的可追溯性,结合电镀行业和电镀生产工艺的特点,提出了基于无线射频识别(RFID)技术的电镀件质量追溯系统设计思路。阐述了RFID技术的原理及优势,在此基础上,给出了电镀件质量追溯系统的总体框架,并对系统软件结构及主要功能模块进行了详细说明。该系统采用MySQL质量信息数据库,能够将电镀件与其相关的工艺信息和批次信息进行绑定。通过质量追溯服务模块,可以对电镀件质量信息进行追溯。  相似文献   
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毫米波通信作为第五代通信技术(TheFifthGenerationWirelessSystem,5G)的关键技术,可以极大地提升以往较低的数据连接,同时提供更广阔的频带,容纳更多的用户数量。然而用于毫米波通信路径衰减较大,覆盖的距离有限;对物体的透射较弱,容易受到物体阻挡;并且对于温度、湿度等天气具有很大的影响,在降雨时衰减明显加重。根据3GPP标准,28 GHz毫米波通信理论上可以提供1.3 GHz的带宽,高达10 Gbps的速率。同时在28 GHz下受大气窗口的影响,相比其他频段拥有更小的路径损耗。笔者采用传统低频段信道信息射频追踪(ray-tracing)算法对28GHz下的毫米波的室外和室内场景进行信道分析。  相似文献   
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