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ICP刻蚀GaP表面形貌控制 总被引:1,自引:0,他引:1
不同角度的GaP表面形貌刻蚀主要依赖于刻蚀参数的调节以及光刻胶的形貌,但要得到能够重复的光刻胶形貌是很困难的.研究了如何通过调节感应耦合等离子(ICP)刻蚀仪器本身的参数,而不依赖于不定的光刻胶形貌来得到可重复的表面形貌.通过研究可知,射频功率与腔室压强是影响表面形貌的最重要的两个参数.射频功率越小刻蚀得到的角度越大,腔室压强越大刻蚀得到的角度也越大.通常BCl3等离子体被用来作为GaP的刻蚀气体,但为了维持所需的等离子浓度以及更大的操作压强,Ar被加入刻蚀气体中. 相似文献
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稳压器是核反应堆系统重要的部件,其基本功能为通过加热及喷淋系统建立并维持一回路系统的压力,并通过安全阀、超压保护等部件保证稳压器的安全运行。此外,稳压器作为一回路系统的缓冲容器,吸收一回路系统水容积的迅速变化。本文使用NI公司的虚拟仪器仿真软件LabVIEW仿真稳压器压力控制系统的工作和控制过程,其目的是尽可能真实地模拟稳压器的实际工作过程,并且选用好的控制算法来获得最佳的控制效果。 相似文献
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单片机的I/O端口控制特性主要是通过对二进制码的控制来实现对I/0端口的电平高低特性的八字节的输入和输出,传输的数据通常为单字节的数字和英文字符.本文基于Android智能手机的蓝牙控制APP与单片机蓝牙模块的通信,主要针对由两个字节组成的汉字的单发、多发和通信编码问题进行了研究,实现了汉字在点阵上的显示. 相似文献
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为了提高外科手术机器人的工作空间和手术效率,缩小机器人的操作空间和结构尺寸,以适应针对不同病人的工作特点和手术环境。研制了一种新型的7自由度外科手术机器人(AOBO),设计了每个关节的动力机构以及专用的手术器械。肩关节机构处通过1个谐波减速器使得整体运动更加平稳,负载能力更大;大臂和小臂采用高强度低质量的碳纤维材质制造减少了由于臂长给电机增加的负载,同时建立了其运动学方程,仿真了机器人的工作空间。实物测试实验表明,该外科手术机器人具有合适的工作空间和很好的动作灵活性,能够满足外科手术对于机器人的准确定位和精确操作的要求。 相似文献
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动脉脉搏波速率(PWV)测量在评价动脉弹性和硬度中具有重要的理论意义和应用价值;针对远程健康监护需求的日益扩大,采用硬件低功耗设计技术同软件节能技术相结合的方法,提出了一种基于无线传感器网络的脉搏波监测系统的硬、软件实现方案;实验结果表明,该系统能够实现对人体动脉脉搏波信号的实时检测,具有较强的抗干扰能力,重复性误差得到了显著的改善,基本保持在0.35%以下;脉搏波信号中所包含的生理信息,有助于对人体动脉硬化的检测,具有较好的应用价值。 相似文献
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系留气球作为浮空飞行器的重要组成部分,近年来发展迅速。本文主要介绍了系留气球地面综合管理双机冗余的一种设计思路,具有较高的可靠性。 相似文献