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1.
2.
3.
研究了γ辐照感生Si/SiO2慢界面态的特性及其对高频C-V测试的影响.结果表明,辐照产生的慢界面态为界面态的0.3—0.8,分布在Si禁带中央以上的能级或呈现受主型.分析认为慢界面态对应的的微观缺陷很可能是Si—O断键或弱键.慢界面态的产生还引起C-V曲线同测试速率、方向和扫描前保持时间有关.文中提出了如何通过高频C-V测量比较准确地计算辐照感生氧化物正电荷、界面态和慢界面态密度的方法.  相似文献   
4.
中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀   总被引:2,自引:2,他引:0  
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。  相似文献   
5.
国内石油石化企业要真正成为具有国际竞争的跨国企业集团,学会应用“两反一保”这个利矛坚盾当属必然之选。  相似文献   
6.
<正> 1991年,是山东潍坊纯碱厂生产形势进一步好转,纯碱质量全面提高,节能降耗工作取得显著成绩的一年:全年纯碱优级品率保持100%,纯碱生产成本由年初的790元/吨下降到年底的620元/吨(不含折旧、大修费),并在10月份获得了山东省优质产品的同时,又顺利的通过了国家生产考核。1991年,山东潍坊纯碱厂重视技术进步  相似文献   
7.
电流模技术与电流模电路清华大学电子工程系(100084)高文焕李冬梅电流模技术是指电流模集成电路的理论基础、电路设计、制造及应用技术。它是与高速集成工艺相伴发展的新兴技术。用电流模技术设计的模拟集成电路速度快、精度高、频带宽、线性好,可以说是模拟集成...  相似文献   
8.
一、低压真空渗碳设备的主要特点 低压真空渗碳设备是与低压真空渗碳技术同时出现的一种设备。该类设备的突出特点是选择的多样性,并且具有多种用途和先进的渗碳控制系统。  相似文献   
9.
通过对一次爆炸量为65t的硐室大爆破地震效应的实测,得出了一些有价值的结论。  相似文献   
10.
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