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在深度光刻中为了仿真微结构的形状,需要利用三维光场分布的数据对其进行三维重建。而MC(Marching Cubes)算法是三维重建中构造等值面的代表性的方法之一。以MC算法为基础,首先介绍了如何利用MC算法来绘制三维光场数据的等值面,然后分析将等值面和边界所围成的空洞补全的方法,最后研究了如何利用有限元分析软件的参数化设计语言将生成的面模型转换成实体模型。该方法重建的几何模型不但可以用于微结构形状误差分析,而且还可方便的用于建立有限元模型,直接应用于有限元分析。 相似文献
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本文针对CT 系统参数标定及成像问题,利用CT 系统成像原理,得到CT 系统参数与探测器接受信息的关系,建立相关的数学模型。基于螺旋CT 原理,利用简单的几何关系,有效地求解出CT 系统模板的参数,较好地实现了CT 系统参数标定。在此基础上利用经典Radon 变换求解出未知介质的几何信息和吸收率信息,解决了未知介质的模型重建的问题。最后特别引入粒子群算法实现五个参数的调节优化,并设计和优化了新的模板,解决了原模板设计可采集的数据较少的问题,精度和稳定性都有明显的改善。 相似文献
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