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金刚石由于其独特的物理、化学和电学性质,以及以薄膜形式生长的可行性,是制造可靠、长寿命,微机电/纳米机电系统(MEMS/NEMS)材料的理想选择。近年来化学气相沉积金刚石薄膜生长的进展促进了金刚石在微机电系统的应用,实现了基于金刚石的MEMS和NEMS开发的新时代。但是由于其难以精确加工,目前仍未能大规模应用。本文对当前金刚石基MEMS的研究进展进行了阐述,主要探讨了当前主要应用的金刚石基MEMS系统的加工方法,并进行了进一步的展望。 相似文献
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电网企业配售电业务随着改革发展形势的变化,面临更强的市场竞争,用户对更加多元化、便捷化的能源电力服务的需求也愈加迫切,增值服务对于电网企业具有重要意义。以电网企业发展节能改造服务为例,通过构建相应指标体系及量化评估模型,实现对电网企业节能改造服务效益的综合评价,为电网企业评估节能改造服务的效益潜力提供决策支撑。 相似文献
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基于平面火焰燃烧器设计并搭建了层流甲烷/空气预混燃气激光等离子体点火系统,研究了甲烷/空气预混燃气激光等离子体点火火焰传播与发展过程,发现将激光聚焦在层流火焰与扩散火焰交界面时点火成功率更高。通过大量重复性实验,获得了不同点火位置、当量比、入射激光能量下激光等离子体点火的成功率,发现贫燃、高激光能量更利于稳定燃烧火焰的形成。利用高速摄影技术获得了不同点火条件下火焰前沿位置随时间的变化规律,对火焰吹熄现象进行了研究,发现提高预混燃气当量比、增大入射激光能量能够降低火焰吹熄概率。 相似文献
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用扫描透射电子显微镜综合分析研究改型Inconel718合金中γ′/γ″纳米级复合相的形态、成分及晶体结构特征。采胜大角暗场像及入射电子束斑直径为1纳米的无窗口X射线能谱分析。 相似文献