新型高K栅介质ZrO2薄膜材料的制备及表征

采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm.     

薄Si膜对基底表面粗糙度的影响

利用ＺＹＧＯ光学干涉测量仪，散射积分测量法观测了光学元件表面均方根粗糙度．详细分析了薄Ｓｉ膜对基底均方根粗糙度的影响，由此认为薄膜并不总是复制基底表面的粗糙度，结果出现了薄膜降低表面粗糙度的现象．提出了一定厚度范围的薄Ｓｉ膜的表面粗糙度存在着一个稳定值的新设想．     

Preparation of submicrometer-sized titania hollow spheres by templating sulfonated polystyrene latex particles

Submicrometer-sized titania hollow spheres with tunable shell thickness and smooth surfaces have been successfully synthesized by employing sulfonated polystyrene (PS) latex particles as a template in sol-gel method. The structure of the particles was characterized by scanning electron microscopy and transmission electron microscopy. The shell thickness was readily tuned by altering the concentration of titanium tetrabutoxide (TBOT) in ethanol solutions. The surface roughness as well as the shell thickness has the tendency to increase with the increase in the concentration of TBOT. The diameter of the hollow spheres was on the average of 20-26% smaller than the diameter of template PS latex particles. Some titania fragments were also observed for the sample with the highest TBOT concentration.     

在线磨辊辊面粗糙度的实验研究

影响轧辊表面粗糙度的因素很多，为此对影响辊面粗糙度的因素进行了系统分析和实验研究，得出了轧辊和砂轮的速度、砂轮粒度、砂轮直径及磨削液等主要因素对轧辊表面粗糙度影响的一般规律。利用回归分析的方法建立了轧辊表面粗糙度的数学模型，并将计算值与实测值进行了比较，发现两者基本一致。此项研究为适时控制冷轧带钢在线磨辊辊面粗糙度提供了计算模型。     

表面粗糙度的自动确定

根据零件精度，在CAD系统中能够快速、准确地自动确定其表面粗糙度，从其间接关系上分析并推导出了一套实用的换算公式，并使用在某CAD中。     

非接触型光外差轮廓仪

本文介绍一种纳米级非接触型高精度光外差轮廓仪,它是基于普通光路的光外差干涉仪。工件表面被两束有微小频差的激光束所照射,其中一束经聚焦后用作测量光探针来扫描工件表面,另一束则用作参考光束。两束光经表面反射后产生干涉。测量信号和参考信号的相位差与表面的微不平值成正比。仪器的横向分辨率为2μm,高度分辨率为1 nm,它不需要对试样作大范围的调整,且可用试样自身作参考面。信号经光电转换后由微型计算机进行处理,它能快速完成测量、计算、显示及打印出各种参数和曲线。     

In-situ birefringence microscopy of uniaxially stretched metal-polymer laminate

This paper concentrates on revealing the local deformation as a function of applied strain in a polymer coating supported by a plastically deforming and roughening metal substrate. To this end in-situ birefringence microscopy measurements have been executed. The measurements are performed in reflection and an alternative unwrapping scheme for the optical path difference is proposed. From the characterization of PET (polyethylene terephthalate) coated stainless steel it is concluded that strain localization appears below the macroscopic strain at yield and that the surface roughness of the substrate is the driving force of the localization.     

电镀锡机组软熔导电辊脱锡技术研究

粘锡是电镀锡机组软熔导电辊失效的主要原因,应用化学方法脱锡是延长导电辊寿命的重要途径.开发了氢氧化钠(钾)为主要组成,并加入适量亚铅酸钠(钾)和硝酸(亚硝酸)钠配制而成脱锡剂,当脱锡剂温度为40～80℃,导电辊表面温度为40～70℃时,对粘锡导电辊具有很好的脱锡效果.粘锡导电辊脱锡后的表面粗糙度可以恢复到4.0μm以上,导电辊使用寿命提高80%,降低导电辊修复成本90%,并大幅度减少导电辊更换时间,提高电镀锡机组生产作业率.     

相干光被粗糙表面散射后衍射谱的分布探讨

利用傅立叶光学的基本原理，对相干光波被粗糙表面散射后衍射谱的分布进行探讨。