MOCVD法制备钯膜用的前驱体研究现状

金属钯薄膜作为一种新型的稀贵金属低维材料,因为其优异的物理和化学性能,在耐高温涂层、微电子、膜反应器、催化等领域有着非常重要的应用。钯薄膜优异的性能及广阔的应用前景引起人们广泛的关注。介绍了金属有机化学气相沉积(MOCVD)法制备钯膜用前驱体的研究进展以及MOCVD工艺中各类前驱体的优缺点,概述了其目前研究的热点和进一步研究的方向。     

双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ)的合成及其晶体结构

以二氯化钯和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料,在甲醇中合成了一种新的β二酮前驱体—双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ)。通过元素分析、红外光谱、核磁共振氢谱和单晶X射线衍射技术对其进行了表征,确定了配合物的结构组成。用热重法分析了配合物在氮气气氛中的热分解行为,当温度升到295℃,前驱体基本挥发完全,表明双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ)是一种理想的MOCVD前驱体。     

二氧化锡超细粉体制备方法综述

本文综述了采用溶胶-凝胶法、水热法、化学沉淀法、硝酸氧化法、气化法等制备超细SnO2的研究进展,阐述了不同方法制备超细SnO2粉体的过程、条件及原理,并分析了这些制备超细SnO2方法的特点及存在的不足,开拓了其未来的发展前景.最后,指出了重点研究方向应是改善SnO2的制备工艺及进一步提高其纯度.