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提出一种用于单电子自旋探测微悬臂梁的制作方法.采用顶层Si厚度为1μm的SOI硅片,在器件层刻蚀出悬臂梁图形后,利用热氧化将Si梁减薄至0.5μm,同时生成SiO2保护层.在KOH溶液进行体硅刻蚀过程中,以黑蜡和SiO2保护层作为正面保护,之后用溶液置换方法完成埋氧层去除及悬臂梁清洗过程.悬臂梁尺寸为465 μm×10 μm×0.5μm,室温真空中Q值为23 000,在低温环境中可以满足单电子自旋探测要求.分析比较了球体、圆锥体、圆柱体三种磁针尖磁场梯度分布,为磁针尖结构设计提供了依据. 相似文献
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随着工业建设和国防建设发展的需要,制造轴承用的材料不仅限于金属,因此对轴承的封存材料提出了更高的要求。但是,到目前为止,轴承的封存材料仍然停留在四十年代的水平。 目前,广泛用于轴承的包装材料以纸类与聚氯乙烯、烯乙聚为主。也有个别轴承厂 相似文献
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孔雯 《机械工人(冷加工)》1982,(5)
目前,我国防锈油的种类不少,大多是对钢件有效,对铸铁有效的不多。GY-2薄层防锈油是一种软膜型防锈油,对钢、铜等金属有较好的防锈能力,特别是对铸铁有显著的防锈效果。 GY-2薄层防锈油加速腐蚀试验结果见表。 相似文献
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随着工业的发展,新品种不断的增加,在机电制品中,锈蚀已成为产品质量的主要问题之一。轴承在机电产品中,用途很广,无论在民用工业或军事工业上,只要有转动的地位,均需用轴承,因此轴承的防锈在机电产品中有着重要的意义。轴承的特点在于它是一滚动体,金属表面要求的光洁度高,因此它不能喷漆,也不能电镀,此外防锈材料也不能在复盖层上凝 相似文献
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