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硅化镍(NiSi)因具备低硅耗、低电阻率、低热预算、没有明显线宽效应等特性,被广泛应用于源漏极接触部分和栅极与金属的接触部分中。工艺中,加热条件的变化会导致生成不同的Ni基硅化物,均一性也会根据加热方式产生变化,影响器件的性能。对先导工艺中Ni基硅化物在不同工艺流程里不同的固相反应进行了对比分析,研究了低温浸入式退火加高温尖峰退火以及低温浸入式退火加高温激光退火这两种方法对生成Ni基硅化物的影响,发现硅化物电阻值主要取决于低温浸入式退火的温度,硅化物均一性主要取决于高温退火方式。该研究结果对实际工艺加工有参考作用。 相似文献
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三维Laguerre模型的外存式增量算法及可视化技术 总被引:1,自引:0,他引:1
在用Laguerre算法实现纳米级材料微观组织结构可视化仿真的过程中,解决了传统算法在设计实现三维Laguerre模型(L模型)程序化与可视化时计算机内存占用量大、程序数据结构复杂等问题,设计了由大到小、层层嵌套的空间数据结构,用6个三重嵌套结构体数组作为中间变量,实现了三维L模型体、面、线、点之间数据的传递与拓扑关系的表达.在此基础上,以硬盘上的外部文件为动态存储空间,设计了硬盘数据文件与内存结构体数组之间实时联动的数据交互方案,避开了计算机内存的限制.在仿真超大规模纳米级材料的微观组织结构时,程序运行的内存占用量恒定为1.2 MB,仿真规模仅受限于硬盘的大小,存储微观组织结构几何信息的数据最后以文本文件的形式输出,方便了在工程实际中的应用与二次开发. 相似文献
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目的 通过引入石墨烯和纳米金刚石,提高铜基体的硬度和抗腐蚀性能。方法 通过球磨、原位生长复合的方法,向铜粉上均匀引入纳米金刚石和石墨烯,并采用放电等离子烧结(SPS)制备石墨烯–金刚石混杂强化铜基复合材料(Gr@Dia/Cu)。利用扫描电子显微镜(SEM)、硬度计、电化学工作站对材料的微观组织形貌、显微硬度、电化学腐蚀性能进行测试和表征。此外,还利用X射线光电子能谱(XPS)对腐蚀产物进行分析,并讨论Gr@Dia/Cu的腐蚀机理。结果 微观组织分析表明,石墨烯和纳米金刚石可以均匀地分散于铜基体中。Gr@Dia/Cu的硬度达到了97.49HV,相较于纯Cu,Gr@Dia/Cu的硬度提高了55.2%。在3.5wt%的NaCl溶液中,Gr@Dia/Cu表现出较好的抗腐蚀性能,其腐蚀电压为98 mV(纯Cu为121 mV),Gr@Dia/Cu的腐蚀电流为3.082×10–7 A/cm2(纯铜为7.293×10–7 A/cm2),腐蚀速率低至0.072 3 mm/a,抗腐蚀效率提高了57.74%。Gr@Dia... 相似文献
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近年来深度强化学习在一系列顺序决策问题中取得了巨大的成功,使其为复杂高维的多智能体系统提供有效优化的决策策略成为可能.然而在复杂的多智能体场景中,现有的多智能体深度强化学习算法不仅收敛速度慢,而且算法的稳定性无法保证.本文提出了基于值分布的多智能体分布式深度确定性策略梯度算法(multi-agent distributed distributional deep deterministic policy gradient, MA-D4PG),将值分布的思想引入到多智能体场景中,保留预期回报完整的分布信息,使智能体能够获得更加稳定有效的学习信号;引入多步回报,提高算法的稳定性;引入了分布式数据生成框架将经验数据生成和网络更新解耦,从而可以充分利用计算资源,加快算法的收敛.实验证明,本文提出的算法在多个连续/离散控制的多智能体场景中均具有更好的稳定性和收敛速度,并且智能体的决策能力也得到了明显的增强. 相似文献
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异质体材料三维微观组织结构的可视化仿真 总被引:2,自引:1,他引:1
介绍了一种可视化仿真三维异质体材料微观组织结构的有效方法。仿真的微观组织结构以从金相学分析获得的统计意义上的数据描述样本的形态学与晶体学结构。在仿真异质体材料多晶体基体微观组织结构的过程中,设计了构造三维Voronoi晶粒聚合体的增量式外存算法,在指定RVE区域内实现了海量多晶体基体微观组织结构的构造。随后,考虑实际异质体材料中第二相组成物可能的形态、空间取向、空间分布、界面相宽度等几何参数,设计了完全可控的仿真程序,可以根据实验分析需求,通过改变、控制、组合由计算机构筑的第二相组成物的几何实体,产生符合预定要求的微观组织结构。同时,开发了相应的可视化技术,展示了仿真得到的各种类型异质体材料微观组织结构模型。 相似文献