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随着微孔加工技术的逐渐成熟,激光微孔加工的应用越来越广泛,但依靠单一激光束进行微孔加工仍存在一些问题,尤其是在深孔加工方面,出现了以激光束为主、多能量场辅助的复合打孔技术,并逐渐成为了热点。针对液体辅助激光微孔加工研究领域,总结了水基辅助激光打孔、水基超声振动辅助激光打孔、水基超声?磁场辅助激光打孔和电解液/水射流辅助激光打孔等方法。在水基的基础上,加入了超声、磁场和温度场,使得辅助场变得多元化,在多层面上进行复合加工。介绍了不同辅助加工方法的去除材料机理及加工后材料特性的变化,水起到冷却的作用,但在水层下会形成空化气泡,超声振动可以击溃气泡,磁场和温度场为材料残渣提供了能量,具体表现在热效应、材料去除速率、打孔深度、重铸层及裂纹等方面。影响微孔质量的因素有微孔锥度、深径比、孔的圆度、重铸层厚度、热影响区、微裂纹和粗糙度等,主要对微孔锥度、深径比及其他指标进行了分析,总结了加工方法对微孔质量的影响。 相似文献
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太阳能作为一种绿色可持续的清洁能源,可以转化为热能或电能,是传统能源最重要的替代品。多晶硅太阳能电池由于具有较低的成本而被广泛用于光伏发电领域,降低多晶硅片表面反射率是提升多晶硅太阳能电池效率的重要手段之一。本文分析了硅基太阳能绒面微结构的吸光原理,梳理了各类常见制绒方法。在此基础之上,总结了激光制绒的各类加工方法,概括了不同激光加工方法对多晶硅片表面绒面产生的相应效果,其中,激光复合方法制绒的效果普遍优于单一激光制绒。随后从激光加工工艺的角度,分析了激光加工主要参数对绒面微结构形貌的影响:由于不同波长下多晶硅材料的吸收率不同,各加工效果亦不相同;通过调整脉冲激光加工中的重复频率、扫描速度等参数,可影响制绒面凹坑间距进而改变绒面微结构的密度,通过调整功率、单脉冲能量等因素则影响微结构的烧蚀程度或深度;而入射角度、能量分布及脉宽对制绒亦有明显效果。对比发现,各典型绒面微结构的形貌中,V形纹理比U形纹理更能有效地捕捉吸收光线,而二维复合型陷光微结构比单一型陷光微结构吸光性更好。在此基础之上,论述了化学后处理对提升多晶硅片绒面质量的作用体现,表明化学后处理能改善或消除多晶硅片经激光制绒后形成... 相似文献
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