介电泳抛光方法及其电极形状的实验研究

目的验证介电泳抛光方法的有效性,研究电极形状对介电泳抛光方法均匀性、抛光效率和去除率的影响。方法选取直径76.2 mm的单晶硅片为实验对象,进行传统化学机械抛光(CMP)实验和使用4种电极形状的介电泳抛光实验,每隔30 min测量硅片不同直径上的表面粗糙度以及硅片的质量,然后对测量的数据进行处理和分析。结果与传统CMP方法比较,使用介电泳抛光方法抛光的硅片,不同直径上的表面粗糙度相差小,粗糙度下降速度快,使用直径60 mm圆电极形状介电泳抛光时相差最小,粗糙度下降最快。介电泳抛光方法去除率最低能提高11.0%,最高能提高19.5%,最高时所用电极形状为内径70 mm、外径90 mm的圆环。结论介电泳抛光方法抛光均匀性、效率和去除率均优于传统CMP方法。     

在线式五防系统在110kV安铺变电站的应用

本文主要介绍变电站在设计过程中采用变电站在线式五防系统技术,实现在线式五防功能的流程及其特点和要求,进一步提高变电站五防系统可靠性,缩短运行操作时间,有效提高变电站运行操作效率,进一步降低误操作风险,确保电网安全稳定运行。     

网络安全态势感知系统在火力发电厂的应用

随着信息技术的发展以及电力行业对信息化的需求越来越大,电力监控系统的网络不断扩大,网络安全形势日益严峻,鉴于此,在火力发电厂加装了网络安全态势感知装置,其能够对电力监控系统的网络数据进行提取、分析及预测,实现全天候、全方位网络安全态势感知,确保电力监控网络安全稳定运行。