Ni-5Pt 合金在冷轧过程中的结构演变及力学性能

镍铂合金溅射靶材在半导体工业中用于制备镍铂硅化合物,实现接触和互连的功能。Ni-5Pt合金在冷轧过程中的结构演变及力学性能进行了研究。结果表明,Ni-5Pt 合金在冷轧过程中其微观演变为从位错缠结到位错墙,再到含位错墙和小角晶界的拉长亚晶粒,最后形成了具有明锐晶界的拉长晶粒。晶粒细化主要是受位错的聚集、湮灭和重排所导致。Ni-5Pt 的显微硬度随着轧制变形量的增加而增加,与强度的变化一致。Ni-5Pt 强度的增加可主要归因于冷轧诱导的位错密度增加和晶粒细化效应。