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1.
根据光波导理论,分析基于敏感膜折射率变化的光纤甲烷传感原理,设计并制作含笼形分子A的聚合物敏感膜的光纤甲烷传感器,通过甲烷传感实验评价传感性能,以现场瓦斯气体样品验证其有效性。数值计算表明,当敏感膜折射率n2介于1.441~1.447时,传感器归一化光功率随n2增加呈线性快速下降,适宜制作高灵敏度折射率型光纤甲烷传感器。实验发现,当甲烷浓度在0~27.0% (v/v)范围内,传感器信号随甲烷浓度增加呈线性增大,其斜率为0.007,相关系数R2=0.963,该结果与数值计算结果相符;甲烷最低检出限2.80% (v/v),响应时间120s,且传感器对一氧化碳、二氧化碳、硫化氢、氧气、氮气等非甲烷类气体不产生响应,选择性良好;用于现场瓦斯气体样品中的甲烷检测时,其测量结果与气相色谱法一致,相对误差1.47%。 相似文献
2.
3.
Ta2O5氢离子敏感薄膜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
一、引言随着 H~+—ISFET 的理论研究的深入,人们越来越认识到作为敏感栅的介质膜对器件的灵敏度、响应时间、线性范围、稳定性等是至关重要的。目前对 H~+敏无机薄膜的研究十分活跃。广泛开展了 SiO_2、Si_3N_4、Al_2O_3、Ta_2O_5、ZrO_2、TiO_2、IrO、PtO等许多材料的研究。松尾正之评述薄膜的 H~+选择性是 SiO_2相似文献
4.
5.
6.
为了设计和制造适合工业化生产的微机械麦克风,给出了一种单芯片硅微机械电容式麦克风的结构和动态特性分析.微机械电容式麦克风的两个电极由一个3层复合敏感膜和一个铜底板构成,敏感膜与底板之间采用牺牲层技术形成空气间隙.复合敏感膜采用低压化学气相淀积工艺制作,包含一层浓硼掺杂的多晶硅和两层氮化硅.底板采用电镀铜技术制作,底板上蜂窝状分布了许多圆形通气孔来调节敏感膜与底板间的空气压膜阻尼至临界阻尼.分析和计算表明,麦克风在9 V偏置电压下开环灵敏度为4.99 mV/Pa,工作最大稳定电压为32.83 V,工作频率带宽为0~134 kHz. 相似文献
7.
塑料薄膜衬底上复合敏感膜热释电传感器的制备 总被引:1,自引:0,他引:1
将Sol-Gel法制备的掺钙钛酸镧铅纳米粉粒(PCLT)与聚偏氟乙烯-三氟乙烯(P(VDF-TrFE)均匀复合,作为热释电传感器的敏感膜,比同样制备条件的纯聚偏氟乙烯-三氟乙烯膜的探测优值高约22.4%。并以沉积有35nmITO薄膜的廉价PET塑料为衬底,用旋转涂膜法沉积PCLT/P(VDF-TrFE)复合敏感膜,用Ni-Cr薄膜作上电极,制备了PCLT/P(VDF-TrFE)/PET热释电传感器。PET塑料可有效降低热释电元件的热导,下电极ITO可反射红外辐射,明显提高了传感器的电压响应和降低热释电元件的热噪声。测试结果表明,PCLT/P(VDF-TrFE)/PET热释电传感器的探测率达到3.4×107cmHz1/2W-1,比同样制备条件的体硅衬底传感器高2个数量级以上。 相似文献
8.
3 基于生物膜与仿生物膜传输机制的生物敏感膜这类敏感膜有的直接利用具有生物活性的生物膜,或者人工生物膜.这种人工膜,无论从结构上还是性质上都与天然生物膜很相似.到目前为止,人工生物膜以双层脂质膜-双分子磷脂膜(BLM)的制作与运用较成功.一个天然生物膜的例子,是嗅觉器官对外界信息传感的机制.图8示出天然嗅觉膜的结构. 相似文献
9.
10.
利用自组装、分子印迹技术在声表面波传感器延迟线上制备了用于甲氟磷酸异丙酯检测的单[6-脱氧(1,10-癸二硫醇)巯基]β-环糊精分子印迹自组装敏感膜;采用原子力显微镜技术对敏感膜的结构进行了表征,验证了成膜效果;对传感器的检测性能进行了评价,传感器对1.7mg/m,的甲氟磷酸异丙酯的响应频率变化为2 170 Hz,进行五次连续检测的标准差和离散系数分别为0.157 kHz、0.070;吸附动力学研究得到ka=1.017×10 5mol-1·l·s-1、kd=2.434×10-3 s-1、kA=4.178×107mol-1·l. 相似文献