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1.
采用磁控溅射法制备出以ITO为基底的纯Cu薄膜,考察溅射时间和基底温度等工艺条件对生长Cu薄膜的影响。用电子扫描显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)对薄膜的形貌、厚度和结构进行表征。实验结果表明:在一定范围内调控衬底温度和溅射时间,可获得不同形貌、尺寸和厚度的Cu薄膜,所得薄膜的晶体结构为面心立方结构,均沿(111)方向择优生长。时间是控制晶粒尺寸的重要因素,溅射时间为40 min,所得薄膜粒子较小,结晶度好,且薄膜致密均匀,随着镀膜时间的增加,膜厚与之成线性关系增加,沉积速率为0.242μm/min;温度对薄膜形貌影响显著,100℃时可获得由小粒子堆积成的类柱状结构组成的薄膜,200℃时可获得由小粒子堆积成的球形团簇组成的薄膜,随着镀膜温度的增加,膜厚与之不呈线性关系,沉积速率随温度的增加而增大;该方法所制备铜薄膜在催化、传感器等领域有潜在的应用价值。 相似文献
2.
氧化物靶材是一种关键性镀膜基材,主要用于磁控溅射制备TFT薄膜,并将其应用于晶体管等器件中透明电极、半导体沟道层,同时也广泛应用于显示面板领域。为满足高性能器件对薄膜的要求,氧化物靶材逐渐向高致密、大尺寸、异形化方向发展。以显示行业中氧化物靶材作为重点,介绍了氧化物靶材制备流程,主要从素坯成型、烧结工艺两个角度对氧化物靶材进行总结,分析了烧结工艺对靶材参数与溅射薄膜电阻率、光学透射率及粗糙度等方面的影响,最后阐述了国内外氧化物靶材市场的现状及发展趋势。 相似文献
3.
为评估大型LNG薄膜罐在罐顶安全阀着火情况下储罐的安全性,本文对某项目20万m3储罐在安全阀着火情况下的混凝土罐顶进行受力分析并给出评价结果.首先,采用ANSYS软件对罐顶进行三维瞬态热分析,获得外罐顶在安全阀着火持续燃烧6h后的温度分布结果.然后,将热学模型转换为结构力学模型,施加火灾产生的温度荷载,并与内部操作气压和自重进行组合后进行应力分析,最终确定混凝土罐顶的应力分布.最后,结合国外规范,对高温环境下的混凝土应变和钢筋强度进行评估,结果表明,二者均满足规范要求,储罐结构是安全可靠的. 相似文献
4.
该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
5.
三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台中微电子和微纳系统领域未来发展的一项核心高技术。文章详细介绍了毫米波频段三维异质异构集成技术的优势、近年来的发展趋势以及面临的挑战。利用硅基MEMS 光敏复合薄膜多层布线工艺可实现异质芯片的低损耗互连,同时三维集成高性能封装滤波器、高辐射效率封装天线等无源元件,还能很好地处理布线间的电磁兼容和芯片间的屏蔽问题。最后介绍了一款新型毫米波三维异质异构集成雷达及其在远距离生命体征探测方面的应用。 相似文献
7.
氧化锡由于其优异的透明性和半导体性能及成本低廉、绿色环保等特点,逐渐成为透明氧化物半导体材料研究的热点。使用异丙醇((CH3)2CHOH)和乙醇(CH3CH2OH)为溶剂、二水合氯化亚锡(SnCl2·2H2O)为前驱体,通过旋涂法制备低成本且环保的透明SnO2薄膜。采用同步热分析仪(TG-DSC)、激光共聚焦显微镜和霍尔效应测试仪等设备,对SnO2薄膜的化学组分、微观结构和光电性能进行表征,探究溶剂和退火温度对透明SnO2薄膜的影响及相关机制。研究结果表明:Sn2+在乙醇中的溶解性好,相应前驱体溶液的成膜质量高,薄膜致密平整;提高退火温度,薄膜内部杂质逐渐去除(215.6 ℃@CH3CH2OH),经过400 ℃退火后SnO2由非晶态向结晶态转变,且SnO2的结晶度随着温度升高而逐渐增加;基于不同温度制备的SnO2薄膜在可见光波段(390—780 nm)具备优异的透明性,在波长为390 nm时不同温度下的透射率分别为96.55%(250 ℃)、96.21% (300 ℃)、95.14%(350 ℃)、96.44%(400 ℃)和93.31%(500 ℃);随着退火温度升高,SnO2薄膜的霍尔迁移率先增大后减小,薄膜载流子浓度先降低后增大,优化后的SnO2薄膜(@350 ℃)的霍尔迁移率最高可达19.54 cm2?V-1·s-1,而可控载流子浓度低至7.47×1012 cm-2。通过优化溶剂成分和退火温度,最终制备了表面平整、高度透明且具备优良半导体性能的SnO2薄膜,其在透明电子应用方面具有巨大的潜力。 相似文献
8.
封闭式入窖发酵是酿造酱香型白酒的关键工艺,糟醅入窖后需要进行封窖处理,传统的封窖材料为泥土,且封窖用泥要求较高、使用周期有限、可用资源匮乏,封窖泥的使用甚至会对环境造成一定的污染。为了推动酱香型白酒产业的可持续发展,使用薄膜封窖将会大大提高窖泥的重复利用率,节约财力物力,并解决一系列生产实际困难。因此,本文简述了在酱香型白酒酿造过程中薄膜封窖的应用方法,对传统窖泥封窖和薄膜封窖两种方式的效果进行了对比分析,并阐述薄膜封窖应用于酱香型白酒生产的科学性和可行性。 相似文献
9.
碳纳米管(CNT)具有优异的电学性能,为了更好地将其应用于纺织品加热领域,采用加捻CNT薄膜的方法制备膜卷纱,并通过预喷涂导电聚合物聚(3,4-乙烯二氧噻吩):聚(苯乙烯磺酸盐) (PEDOT:PSS)溶液的方式进一步优化CNT膜卷纱的电热性能;随后分析PEDOT:PSS喷涂浓度对CNT薄膜及其膜卷纱的结构和导电性能的影响,以及施加不同电压条件下CNT薄膜及其膜卷纱的温度变化。结果表明:随着PEDOT:PSS质量分数从0.01%增加至1.4%,所喷涂的CNT薄膜电导率由344.2 S/cm逐渐增大至668.9 S/cm;当PEDOT:PSS质量分数为0.07%时,所制备的CNT复合膜卷纱具有优异的电热性能,当在其两端施加电压时,温度可到达214 ℃,响应时间为5 s,发热温度是其未加捻薄膜的1.6倍,具有较好的应用潜力和开发价值。 相似文献
10.
目的 提高H13模具钢的表面性能,延长模具使用寿命。方法 采用多弧离子镀技术,以氮气作为反应气体,通过改变氮气流量的方法制备出不同原子含量的CrAlN薄膜,研究氮氩比对Cr Al N薄膜表面形貌、组织结构、硬度、结合力、抗高温氧化性及耐腐蚀性的影响。结果 随着氮氩比增加,CrAlN薄膜表面大颗粒数量减少,大颗粒尺寸变小,薄膜表面逐渐均匀致密,孔隙率降低,表面粗糙度下降。Cr N(200)衍射峰逐渐增强,六方相AlN(101)逐渐消失,硬度、结合力、抗高温氧化性及耐腐蚀性先升高、后降低。在氮氩比为8∶2时,Cr Al N薄膜性能最优,硬度达到最大值,为2400HV,膜基结合力达到最大值,约29 N,抗高温氧化性能及耐腐蚀性能达到最佳。结论 通过多弧离子镀技术在H13模具钢表面制备CrAlN薄膜,可以提高其表面性能,延长使用寿命。当氮氩比为8∶2时,在H13模具钢表面制备出的Cr Al N薄膜性能最佳。 相似文献