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介绍了一种基于光栅干涉测量原理的大量程、高精度触针杠杆式表面形貌传感器,并对传感器在大量程测量时的非线性误差进行了分析。测量时轮廓仪在水平和垂直方向上都会由于测杆绕固定支点的转动而产生非线性误差,为此提出了一种对水平和垂直方向上非线性误差进行校正的新方法。通过使用大量程、高精度的一维垂直微位移工作台和标准楔形斜块进行误差校正。最后分别给出校正前后误差曲线,并进行对比。通过分析可知,此方法可以有效减小测量时的非线性误差,大大提高轮廓仪在进行大量程测量时的精度,从而实现大量程、高精度测量。 相似文献
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带凸缘高圆筒件一次拉深成形新工艺的数值分析 总被引:5,自引:0,他引:5
提高板料的成形性能始终是拉深工艺中的一个关键因素,本文分析了一种能大幅度提高板料成形性能的新工艺措施。这项新技术是通过减小压料接触面上的流动阻力,实现对板料成形性能的优化。文中采用这一新工艺措施对带凸缘的高圆筒件的一次拉深成形过程进行有限元数值模拟,得到很好的验证,同时分析了这项新技术的机理。 相似文献
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光栅计量型的垂直扫描位移工作台及其误差分析 总被引:1,自引:0,他引:1
为满足精密测量中垂直扫描白光干涉以及千分表、电感位移传感器、表面粗糙度触针位移传感器标定对垂直方向的高精度定位和高分辨率运动要求,研制出一种纳米级垂直扫描位移工作台.该工作台采用柔性铰链结构,压电陶瓷驱动位移,满足纳米级微位移驱动要求,同时利用两级杠杆放大结构,扩大了位移行程.针对压电陶瓷驱动的位移随电压变化的非线性特点,利用衍射光栅对压电驱动进行实时监控,对这种非线性误差进行实时补偿.衍射光栅固定在工作台的微定位板上,工作台的移动量可由衍射光栅二次衍射干涉后产生的条纹变化得到.根据衍射光栅的计量特点,分析垂直扫描位移工作台测量误差的主要影响因素.通过试验验证,优化系统误差,进一步提高了垂直扫描位移工作台的定位精度. 相似文献
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介绍了一种利用垂直位移台来实现钢球表面粗糙度高精度测量的垂直扫描白光干涉仪。该仪器是在6JA型干涉显微镜基础上加以改造,采用白光干涉,通过检测干涉信号的光强峰值,实现高精度的钢球表面三维形貌测量。通过试验验证该系统可对精度等级为3级的钢球进行精确的表面形貌测量。 相似文献
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