高温热氧化中SiO2层厚度的控制研究

本文介绍了Si热氧化的工艺过程和温度曲线,对热氧化生成的SiO2层厚度进行了理论计算和实际测定;并列出了７个ＳiO2样品的干,湿氧时间,理论计算值,实测值及产生的误差值,多数样件可控制在１５％左右（最优达７０％）;介绍了控制干,湿氧不相互干扰的管路系统,稳定水浴湿度９５℃的方法,分析了影响ＳiO2层厚度的石英管口径及氧气流量等因素。     

物镜鉴别率对比测试研究

本文介绍了自行设计研制的目视鉴别率测试仪及其光路图和鉴别率图案,着重介绍用该仪器与在光具座和传递函数仪上的对比测试,被测试的物镜,在３种仪器上被测时偏心较大,然后该物镜进行重新装配,校正中心,又一一测试数据,最后给出初测和复测对比测试数据,用３种方法测出的物镜的数据,在判定物镜优劣性能时甚为一致。     

莫尔轮廓仪的光学特性

本文阐述了照射型莫尔轮廓仪的原理,仪器的主要结构特点及其主要光学特性,同时还介绍了轮廓仪的应用情况,从而对轮廓仪的主要特性作了全面介绍。     

用光谱法测试相位光栅层的厚度

按傅里叶光学,当平面波通过光栅时,不同级次的衍射角和强度由光栅而定,根据光栅的衍射频谱可以反推出光栅本身的多种信息.一个新的方法就是选用不同级次的功率谱来测量相位光栅的深度.对3块光栅进行了测试,并给出计算的光栅深度.同时给出6块光栅的测试结果--多级衍射强度,结果表明误差值不大于5%.     

偏心对光栅副性能的影响

光电编码器在计测、自控、机床、计算机、机器人等行业中有广泛应用,其核心部件是光栅副。本文对光栅副中的动光栅因偏心而带来的对精度、条纹宽度、相位变化等参数的影响作了详细的分析,可以看到偏心对这些参数有比较大的影响,因而在调整过程中,力争把动光栅中心调整得与其旋转中心同心。     

圆光栅均匀性误差研究

圆光栅均匀性误差是圆光栅质量的重要指标之一,本文详细论述了圆光栅均匀性误差,并且提出了几种减小或消除这一误差的措施。     

照射型莫尔轮廓法

莫尔等高图是莫尔轮廓图的一种特例。文中讨论了莫尔轮廓图的矢量表达式和作为第高图的条件,给出了几种特殊配置的莫尔轮廓图的实用公式,并附有实验数据。     

离子束刻蚀计量光栅的衍射现象

介绍了计量光栅经离子束刻蚀后的衍射现象,实测了刻蚀表面的形貌特征,还对这种衍射现象进行了讨论。     

利用Lau效应测量透镜焦距

本文介绍了利用Lau效应测量透镜焦距的方法,给出了实验原理图、计算公式以及实验数据,并提出了提高测量精度的途径。文中对Lau效应中的公式Z_0=α/β·Ρ~2/λ的系数α/β进行了探讨。认为α/β既可为其它作者所推荐的正的既约有理数,(在某些情况下)也可为任意小数,并且在该条件下尚可得到较好的满足测量要求对比的条纹。