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为满足电子半导体等领域对SiC超光滑、无损伤和材料高效去除的要求,提出了电助光催化抛光SiC的新方法。研究了光催化剂种类及其pH值对抛光液氧化性和抛光效果的影响,讨论了材料的去除机理。结果表明:以p25型TiO2为光催化剂配制抛光液所获得的最大氧化还原电位为633.11 mV,材料去除率为1.18μm/h,表面粗糙度Ra=0.218 nm;抛光后SiC表面氧化产物中,Si-C-O、Si-O和Si4C4O4的含量明显增加,SiC表面被氧化并被机械去除是主要的材料去除方式。 相似文献
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将求取斜航式法向圆弧锥齿轮副瞬时啮合点的问题转化为两齿轮之间沿终结运动方向对应点转角的最小值问题,提出了仿真分析方法。以一对斜航式法向圆弧锥齿轮副为例,分析存在轴交角误差时,齿轮副接触区域的变化情况,绘制了齿面接触区域,并进行了齿轮副接触区域的运转试验。运转试验结果与仿真结果基本一致,证明了仿真方法的正确性和可行性。 相似文献
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风力发电机组机舱底盘的强度及动力特性分析是底盘结构优化的基础,机舱底盘上不仅承载着主轴、轴承座、增速箱、发电机等大型及运动部件,而且还受到空气阻力等影响.由此,采用有限元软件对3 MW风力发电机机舱底盘的静强度及固有频率和振型进行分析,并根据结果进行强度校核.为机舱底盘结构优化设计提供了理论依据. 相似文献
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在数字图像系统的实际测量中,得到的图像边缘并非理想情况下图像的实际边缘。针对这一问题,提出了基于图像理想边缘像点与实际边缘像点的相互对应关系建立的误差补偿方法,对图像进行误差补偿。通过4mm量块多次测试,证明了测量精度能够达到。 相似文献
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复杂螺旋面加工中刀具干涉检查算法研究 总被引:1,自引:4,他引:1
针对复杂螺旋面数控加工中的刀具干涉问题进行了研究,利用最小有向距离理论,将刀具干涉检查问题转化为求取目标函数的全局最优值问题,利用遗传算法实现问题的全局寻优.通过对螺杆钻具加工实验,验证该算法的可行性与有效性。 相似文献