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介绍了利用北京正负对撞机(BEPC)同步辐射X射线光刻装置,进行LIGA工艺技术深结构光刻实验研究,详细论述了X射线光刻使用的掩模制备过程及掩模镀金工艺,在国内最早曝光出直径为400μm、厚为27~45μm的三维立体齿轮胶图形。 相似文献
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GPRS无线抄表系统设计与实现 总被引:3,自引:0,他引:3
针对目前远程抄表存在的弊端,本文提出一种基于GPRS通信技术的无线抄表系统,介绍该抄表系统的工作原理及软、硬件程序设计,系统设计思想是以GTM900作为GPRS数据终端的通讯模块,通过AT指令实现了整个系统的连接及通讯,使抄表技术得以改进和优化. 相似文献
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从激光晶体低增益谱线的运转机理出发,对LD泵浦Nd∶YVO4,LBO腔内倍频457 nm蓝光激光器用光学薄膜进行了研制。在激光反射镜的设计上,为保证基频光914 nm的高效振荡,并获得高的倍频457 nm蓝光输出,对膜系要求进行了深入分析。采用调谐比高的膜堆结构将反射波长与透射波长进行了有效分离,既降低了膜系设计难度,又获得了高效率的蓝光输出。实现了914 nm激光高效振荡,通过LBO腔内倍频,在1.7 W LD泵浦功率下获得20 mW4、57 nm蓝光输出。 相似文献
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为实现无线远程抄表,设计开发了基于电能表无线信息采集器的GPRS模块,实现了GPRS模块在抄表系统中的应用。本文主要介绍了GPRS模块的技术要求、GPRS模块的硬件电路设计方案以及硬件电路抗干扰设计、通讯模块软件设计和AT指令实现,并探讨开发过程技术要领。 相似文献
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Nd:YAG人眼安全波段1 444 nm激光器光学薄膜的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
从激光晶体低增益谱线的运转机理出发,研制了对LD泵浦Nd:YAG实现人眼安全波段1444nm激光器所使用的光学薄膜。为保证1444nm激光的高效振荡,对Nd:YAG晶体的其它发射谱线946nm、1064nm、1319nm和1338nm进行有效抑制,对膜系要求进行了深入分析。将光谱特性要求合理分配在谐振腔的2个端镜上,从整体上考虑谐振腔对各谱线的透射/反射率要求,采用传统的解析设计同计算机膜系自动优化设计相结合的方法对膜系进行了优化计算,设计出符合要求并具有好的容差特性的膜系。采用离子反应溅射沉积法成功制备出1444nm激光器所使用的全介质激光反射膜,实现了人眼安全波段1444nm激光的高效振荡。在注入泵浦功率为1.5w的条件下,获得268mW的稳定TEM00模线偏振激光输出,斜效率达24.3%,M^2因子小于1.3。 相似文献
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