薄膜相对介电常数测量仪器的设计与研究

研制测量薄膜相对介电常数的仪器,用于生产中在线监测薄膜的厚度.该仪器采用将平行板电容器充满薄膜的电容值与充满空气的电容值相比的方法得出薄膜的相对介电常数,并采用等位环技术,减小了两极板在边缘处产生边缘效应所带来的误差,大大提高了测量的精度和准确性.实验表明该仪器使用方便、实用,且有较高的精度.