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1.
压电陶瓷基本特性研究   总被引:43,自引:15,他引:28  
随着压电陶瓷应用领域的不断扩大,压电陶瓷作为一种精密驱动器件,其自身的性能日益受到使用者的关注。本文对压电陶瓷器件位移特性、出力特性、温度特性及蠕变特性进行了详尽的论述和分析,推导了压电陶瓷和电致伸缩陶瓷的归一化模型,并对国内外典型的压电陶瓷器件的位移特性进行了分析。  相似文献
2.
压电泵的现状与发展   总被引:40,自引:15,他引:25  
压电泵作为一种新型压电驱动器,有着广阔的发展前景.本文综合国内外现有研究情况,分析了现有各类压电泵的结构、原理、性能、特点及应用情况,提出了压电泵目前存在的问题,并预测了未来几年的发展前景.  相似文献
3.
21世纪超声电机技术展望   总被引:38,自引:0,他引:38  
首先回顾了超声电机技术在20世纪国内外发展的情况,叙述了南京航空航天大学超声电机研究中心在超声电机研究方面的进展,其次预计了在21世纪国内外市场对超声电机的需求,特别列举了超声电机技术将对我国国防和国民经济各部门起到的重大作用,最后论述了21世纪超声电机技术的研究人员所面临的任务,针对我国在超声电机理论、实验和材料研究工作的现状,提出了21世纪为发展我国超声电机技术急需解决的若干重要课题。  相似文献
4.
柔性铰链的应用   总被引:26,自引:0,他引:26  
吴鹰飞  周兆英 《中国机械工程》2002,13(18):1615-1618
柔性铰链以其特殊的性能在精密机械、精密测量、微米技术和纳米技术等领域得到广泛应用。通过对柔性铰链在支撑结构、联接结构、调整机构和测量仪器中的应用,以及柔性铰链与压电致动结合实现超精密位移和定位的典型例子,对柔性铰链的应用作了较全面的介绍。  相似文献
5.
基于纳米定位的压电陶瓷执行器控制方法的研究进展   总被引:25,自引:2,他引:23  
压电陶瓷执行器在较高电场的作用下将产生严重的非线性,迟滞和蠕变,从而大大降低了它的定位精度。从控制方式,驱动方式和控制算法上,分析,总结了国内外关于纳米定位中压电陶瓷执行器的各种控制方法,进而提出:压电陶瓷执行器在静态或对频响要求不高的场合下,应采用电压驱动,电容传感器反馈并同优良控制算法相结合的控制方法;而在对频响要求较高的场合下,应采用电荷驱动、电容传感器反馈并同优良控制算法相结合的控制方法。  相似文献
6.
直线型超声电机的发展及应用   总被引:22,自引:1,他引:21  
概述了直线型超声电机的运动机理,综述了国内外直线型超声电机的发展及其研究现状,列举了一些典型例子,总结了直线型超声电机的应用领域。针对现在直线型超声电机在理论、实验、材料等方面存在的问题,指出了在其研究开发中需要解决的关键技术。  相似文献
7.
原子力显微镜的基本原理及其方法学研究   总被引:20,自引:3,他引:17  
简述了原子力显微镜探测物体表面形貌的基本原理,具体地介绍了原子力显微镜的四大核心构件的属性与功能激光器、微悬臂、压电扫描器、光电检测器管;详细地阐述了该仪器探测运行的三种模式接触模式、非接触模式、轻敲模式,并重点讲述了轻敲模式的独到之处;强调了原子力显微镜所能进行的参数分析和数据处理功能,同时将原子力显微镜同其它表面探测仪进行了比较,突出了AFM的优越性;并结合仪器的构造和工作原理,对仪器的改进和发展提出了一些建设性意见.  相似文献
8.
压电驱动与控制技术的发展与应用   总被引:18,自引:1,他引:17  
压电驱动器是利用压电体逆效应形成机械驱动或控制的一类装置。由于压电体具有反应快、精度高和抗干扰等优点,因而由其所构造的驱动与控制装置结构简单、反应敏捷,受到国内外科学家的广泛关注。目前已被开发出的压电驱动与控制装置主要有超声波电动机、精密驱动器等,并在国防、生物医学、光电子等诸多领域获得成功应用。介绍国内外压电驱动与控制技术领域的研究现状及实际应用情况,给出一些具有代表性的机构实例,同时对相关性能做出评价。  相似文献
9.
蠕动式X—Y—θ微动工作台的设计实现   总被引:18,自引:2,他引:16  
提出了一种新颖的X-Y-θ微动工作台。利用单一压电元件驱动及柔性铰链机构传动获得平面上3个自由度的运动,并与电磁夹紧机构配合实现蠕动式进给,使平面工作台具有高的位移分辨率、大的工作行程和简洁的结构。工作台的核心部件柔性铰链传动机构采用对称设计,有利于运动的导向。通过力学分析,对柔性铰链机构进行了参数选择。测试了工作台的性能,柔性铰链机构刚度的实测值同理论值接近。运动速度大于10um/s,位移分辨率小于0.1um。  相似文献
10.
补偿压电陶瓷迟滞和蠕变的逆控制算法   总被引:18,自引:16,他引:2  
研究了用于扫描探针显微镜,特别是原子力显微镜(AFM)中的扫描器高精度定位问题。压电陶瓷驱动器通常用于这种扫描器中,在无补偿的开环控制期间,它在输入电压和输出位移之间表现出明显的迟滞和蠕变。迟滞和蠕变降低了扫描器的定位精度并使扫描图像出现了畸变。给出了迟滞和蠕变模型及参数的在线辨识方法。在AFM的扫描控制中,使用基于该模型的逆控制算法补偿了压电陶瓷的迟滞和蠕变。在分析中,Preisach迟滞模型和对数蠕变模型被用于描述压电陶瓷驱动器的非线性。由于该方法不需要在控制过程中进行参数设置,因此很容易使用。此外由于是开环控制方法,可以具有更好的分辨率。闭环操作能够给出较好的迟滞和蠕变补偿,但由于在高带宽情况下传感器动态范围的限制,对于小扫描区域或样本特征,它减小了成像的分辨率。三角波轨迹跟踪的仿真结果说明轨迹误差在传感器噪声量级上,证明了这个方法的有效性。  相似文献
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