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1.
类金刚石膜的性质及应用   总被引:5,自引:0,他引:5  
介绍了类金刚石膜(Diamond—like Carbon films,DLC films)的结构、制备方法和发展现状。综述了DLC膜的机械、电子、光学和医学等性能以及在这些领域中的应用状况。  相似文献
2.
DLC薄膜的表面形貌及其摩擦学性能研究   总被引:4,自引:2,他引:2  
以真空蒸发碳离子束辅助镀膜法制备了DLC薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)观察了该薄膜的表面形貌,对该薄膜的表面形貌对其摩擦学行为的影响进行了研究。研究发现:用真空蒸发碳离子束辅助镀膜的方法制备的类金刚石薄膜表面光滑,颗粒均匀,粒度小,摩擦因数降低;DLC薄膜比弹簧钢片及Ti6Al4V球基体耐磨;DLC薄膜的摩擦学性能在摩擦过程中会进一步改善。  相似文献
3.
类金刚石碳膜的硬度测定方法研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
研究了有衬底影响的类金刚石碳(DLC)膜硬度测定技术。采用H-D关系外推,Meyer Joensson-Hogmark公式计算(考虑ISE)等三种方法测定了DLC膜的“真实”硬度。结果表明,由Meyer科计算的薄膜硬度最可靠、简便。通过试验还发现DLC膜有约15%的弹性恢复,并认为DLC膜的硬度测定采用克努普压头更为恰当。  相似文献
4.
类金刚石碳膜(DLC)有极优良的性能,与金刚石膜(DF)类似。已有很多的应用。简介了DLC膜的结构,性能,实用的制备方法及其在工具和模具等领域中的应用。  相似文献
5.
不同金属基材上类金刚石薄膜的摩擦特性   总被引:2,自引:1,他引:1  
针对类金刚石(DLC)薄膜在精密机械零件中的应用,研究了在常温条件下沉积高界面强度的DLC薄膜的技术,以提高DLC薄膜与金属基材之间的结合强度.通过在基材与薄膜之间沉积加入a-Si:H中间过渡层,研究了在不同金属基材上DLC薄膜的结合强度.采用Ball-on-Disk方法评价了薄膜的摩擦特性并测定其摩擦系数、疲劳破坏寿命和磨耗.实验结果表明:在薄膜与金属基材之间加入a-Si:H过渡层后,界面的结合(键合)强度得到了明显的改善,在金属基材上沉积的DLC薄膜在磨耗过程中被完全磨穿而没有发生剥离.实验显示,在自制的化学气相沉积RF-DCCVD装置上沉积的DLC薄膜的最大沉积厚度是3.3μm;在1μm厚度的薄膜上施加2.94 N的负荷(点载荷),其疲劳破坏寿命达到了70万循环;DLC薄膜与SiC,Si3N4,SUS304和SUJ2材料之间的摩擦系数为0.1~0.15.得到的结果验证了薄膜与金属间的结合强度和摩擦特性能够满足精密机械零件的使用要求.  相似文献
6.
利用脉冲多弧离子镀技术在硅基底上沉积类金刚石薄膜。分析了类金刚石薄膜的硬度和工艺参数的关系,讨论了薄膜的耐磨性和化学稳定性。  相似文献
7.
H. Li  T. Xu  C. Wang  J. Chen  H. Zhou  H. Liu 《Tribology Letters》2005,19(3):231-238
Friction and wear behaviors of diamond-like carbon (DLC) film in humid N2 (RH-100%) sliding against different counterpart ball (Si3N4 ball, Al2O3 ball and steel ball) were investigated. It was found that the friction and wear behaviors of DLC film were dependent on the friction-induced tribochemical interactions in the presence of the DLC film, water molecules and counterpart balls. When sliding against Si3N4 ball, a tribochemical film that mainly consisted of silica gel was formed on the worn surface due to the oxidation and hydrolysis of the Si3N4 ball, and resulted in the lowest friction coefficient and wear rate of the DLC film. The degradation of the DLC film catalyzed by Al2O3 ball caused the highest wear rate of DLC film when sliding against Al2O3 ball, while the tribochemical reactions between DLC film and steel ball led to the highest friction coefficient when sliding against steel ball.  相似文献
8.
采用中频对靶磁控法在M2高速钢基片上合成了厚达6μm的含铬类金刚石碳(DLC)薄膜,初步考察了中频磁控溅射工艺参数、DLC薄膜的多层梯度结构及薄膜力学和摩擦性能间的关系。结果表明,薄膜表面平滑,具有致密的多层梯度结构,在2.45 N载荷下维氏硬度为HV 2 560,结合力的临界载荷为52 N,且在较长滑动距离内平均摩擦因数为0.09。  相似文献
9.
摩圣技术是一种新型的摩擦表面再生技术,其实质是通过在润滑油中添加一种“摩圣修复剂”以达到增强摩擦件减摩抗磨能力、对摩擦表面进行原位免拆卸修复的目的。以透射电镜、X射线光电子能谱仪、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪分析了在添加摩圣修复剂的润滑油中运行过的齿轮表层,对摩圣修复剂的减摩机理进行了分析。结果表明:摩擦表面的修复再生层为类金刚石膜和硅氧玻璃膜。  相似文献
10.
采用碳离子束注入辅助蒸发技术低温沉积了DLC薄膜,对薄膜沉积的工艺参数进行了优化,并对该薄膜的摩擦学行为进行了探讨。研究发现:碳离子束注入辅助蒸发技术沉积的DLC薄膜在离子量为3.0×1017ions/cm2,沉积率为0.1nm/s时具有最小的摩擦因数(<0.1);电流为2.0mA比3.0mA条件下所沉积的DLC薄膜表面光滑;磨损试验后,DLC薄膜的表面只有轻微磨损的痕迹。  相似文献
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