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1.
一种测量非球面光学零件面形的新方法   总被引:3,自引:0,他引:3  
根据激光扫描平移加旋转法的测量原理 ,推导出了非球面光学零件面形测量的数学模型 ;对一个非球面反射镜进行了实测并对测量结果进行插值运算 ,进而拟合出零件面形的曲线方程。  相似文献
2.
功率谱密度函数评价方法探讨   总被引:3,自引:0,他引:3  
徐芳  魏全忠 《光学仪器》2000,22(3):21-24
高能量、高分辨力光学系统给传统的光学面形评价指标提出了新的要求。各项测试技术 ,信息理论的更新给我们的研究提供了可能。介绍采用 PSD功率谱密度函数来评价光学元件面形中频误差  相似文献
3.
离子束加工光学镜面的材料去除特性   总被引:2,自引:1,他引:1  
分析了离子束加工光学镜面的材料去除效率、加工损伤厚度以及表面热效应等材料去除评价指标。基于Sigmund溅射理论,分析了此三个评价指标与离子入射角度和离子能量等加工参数的关系,建立了相关模型。以石英玻璃为例,利用TRIM软件仿真离子溅射过程,分析理论模型各参数,具体研究了三个评价指标与离子能量和入射角度的关系。结果表明:材料去除效率随离子能量的增大而缓慢增大,随入射角度增大而显著增大,60°时的去除效率约为0°时的4.5倍;加工损伤厚度随离子能量增大而近似呈线性增大,随入射角度增大而减小;热效应随离子能量近似呈线性增大,而随入射角度增大而减小。因此,离子束加工工艺过程中,应尽量增大离子束入射倾角来同时提高这三方面的指标。  相似文献
4.
塑料光学元件制造   总被引:2,自引:0,他引:2  
杨相利 《光学仪器》2000,22(4):27-34
由于光学塑料具有许多杰出的优点 ,因而在照相机、光盘、投影镜头、眼镜等方面获得了日益广泛的应用。塑料光学元件的关键制造技术是模具设计和制造、选择合适的注塑设备、最佳的工艺参数等。为了制作以光盘物镜为代表的高精度非球面塑料透镜 ,就应采用注射压缩工艺抑制变形的成形技术 ,辅之以考虑变形而补偿模具的成形技术。  相似文献
5.
光学元件表面的数字全息在线检测   总被引:1,自引:1,他引:0  
针对光学元件表面质量在线检测的特点,设计了基于数字全息的三维再现检测系统.该系统采用离轴光路,避开了被测元件的光轴,在数字全息再现过程中应用倾斜相差补偿技术去除了由于离轴检测引入的倾斜相位畸变.在检测过程中,利用围绕光轴旋转被测元件的方法来改变入射照明光方向矢量和相应的观察方向,实现了多照明矢量合成孔径技术的应用,扩展了系统的检测距离,提高了系统分辨率.同时,多照明角度下检测数据的叠加,还有效地抑制了检测过程中出现的散斑噪声对结果准确度的影响.通过对分辨率板、高精度玻璃反射镜的检测实验,验证了该系统在光学元件表面检测中的作用.当记录距离为40 cm时,其分辨率能够达到10 μm,满足光学元件表面检测的需要.  相似文献
6.
孔兵  王昭  党开放  谭玉山 《仪器仪表学报》2002,23(3):271-272,277
微透镜阵列与针孔阵列的组合光学器件是全场共焦检测中的一个关键器件,微透镜中心与针孔中心要求严格对准,相应的装配对准精度应控制在几微米之内,本文给出了一种可进行5自由度高精度调节,并利用光学显微镜进行实时监测的对准方法。  相似文献
7.
1Introduction Laserweldingisakindofkeytechniquein thefieldofoptoelectronicdevicecapsulation.Thisprovedefficienttechniqueisincreasingly appliedinthewave guidematerialssuchas SiO2,Si,SiCandLiNbO3.Ouroriginalsugges tionistojointtheLiNbO3wave guideandV groovefiberopticassemblyonthesurfaceofthe steelsubstrate.Generally,agglutinationisthe regularchoice.Actually,thecorrespondinglyhighexpan sioncoefficientandshortlifespanoftheadhe sivesarethegreatestdrawbacks,thoughitisa convenienttechnique.Tin …  相似文献
8.
为了解决大口径高精度光学元件加工和测量过程中的调整问题,研发了一台SWTZT-1400高精度四维调整工作台.文中以四维调整的坐标转换为基础,阐述了四维调整工作台的调整原理,并对大口径高精度四维调整工作台进行了设计.为保证工作台高效率、高精度和高稳定性的调整,工作台整体采用双层结构形式,调平采用八点支撑结构,并配置高可靠性的调心调平锁紧机构,该工作台的上台面直径为1 400 mm,其平面度≤0.01 mm,x、y向的调心范围为±25 mm,x、y向的调心误差为0.1μm,x、y向的调平范围为±3°,x、y向的调平误差为10″,可实现大口径高精度光学元件的加工、测量和精密修配中工件装夹位置和角度的精确微量调整,提高光学元件的制造和测量精度.  相似文献
9.
为提高微机电系统(MEMS)中光学系统整体仿真的准确性和效率,解决光学组件系统级建模存在的问题,提出了一种光学组件系统级建模方法,该方法可同时支持与MEMS系统级机械组件和电路组件共同仿真.首先,介绍了多端口组件网络方法、高斯光束特点和空间坐标系变换理论.接着,以微平面镜为例,介绍了光学组件系统级建模方法的流程.最后,采用Verilog-A硬件描述语言建立了包含多个典型光学组件的系统级光学库.使用该库的光学组件在MEMS集成设计工具MEMSGarden中搭建微扫描系统进行了仿真与测试.与商业软件CoventorWare的分析结果相比,提出的建模方法解决了扫描盲区问题,且非差分电压分析的误差小于3%.结果显示,本文提出的建模方法精确有效,对MEMS的系统级设计有参考价值.  相似文献
10.
探讨了光学零件表面消光的几种实现方法,目前主要有移印机机印、丝网印刷和喷漆方法。不同形状有其相应的实现方法,甚至有多种实现方法,但效率却有所不同。解决了加工中出现的工艺问题,确定了合理的工艺参数。在光学元件光面涂覆不规则图形方面没有可借鉴和参考的工艺方法,由于光学行业竞争激烈,技术保密性很强,从工艺上讲属于新领域。  相似文献
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