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1.
硅微光机械加速度地震检波器中 M-Z光波导干涉仪结构设计   总被引:11,自引:9,他引:2  
提出了一种新型的硅基M-Z干涉型光电集成加速度地震检波器。对硅基微光电机械加速度地震检波器的M-Z光波导干涉仪系统进行了系统研究和优化设计,采用K9玻璃作为基底层和包层材料,Bak7玻璃作为波导层材料,波导的宽度为4 μm,厚度为0.4 μm。M-Z光波导干涉仪的Y分支设计中采用上升反正弦S型弯曲,为适用于该干涉仪的信号臂和参考臂大跨距的特殊结构,应用波导转向镜实现了大角度光路转折,反射转向镜的内介质采用镀制金属铝膜得以实现,并利用BPM进行了仿真。为了防止TE模偏振光的偏振态经铝膜全反射后发生变化,加了4个长度为1 mm的TE模偏振器以保持其偏振态。实验结果与理论相符。  相似文献
2.
退火质子交换LiNbO3光波导的工艺研究   总被引:7,自引:1,他引:6  
夏翔  袁一方 《光学仪器》2002,24(2):27-31
介绍了质子交换 Li Nb O3 光波导的制作工艺及光学特性测试 ,制作单模光波导的工艺条件及退火工艺。  相似文献
3.
高阻硅上RF-MEMS共面波导设计及测量研究   总被引:5,自引:5,他引:0  
设计并实现了基于高阻硅RF-MEMS(射频-微机电系统)共面波导传输线(CWP), 并测量和分析了不同偏压下的特征阻抗值。利用部分电容法和保角变换法得到的分析公式确定了特征阻抗为50 Ω的共面波导的几何结构尺寸,采用MEMS准平面加工工艺在高阻硅衬底上实现了2.5 μm厚的金共面波导结构。在施加不同直流偏压的情况下对所设计的共面波导进行了S参数测量。计算了Winkel多项式中所有系数的具体表达式,运用该多项式获得了共面波导的特征阻抗,并与传统的特征阻抗提取方法进行了结果比较。实验数据表明,在中心信号线上施加的直流偏压对S参数的影响很小,而对共面波导特征阻抗的影响较为明显,当施加的直流偏压从0 V变为38 V时,特征阻抗的实部会增加,变化幅度小于1.2 Ω,虚部会减小,变化幅度小于0.8 Ω。  相似文献
4.
改进的飞秒激光加工微型光波导方法   总被引:4,自引:3,他引:1  
分析了垂直式加工中加工区域光强分布不对称的原因,从理论上总结出改进这种不对称的方法。在分析了仅引入单个透镜就能实现这一改进的可行性后,实验验证了这种改进方法。未改进之前加工出的光波导其端口两个方向直径之比为10:1,甚至更高;而改进后的比例则非常接近1:1。通过对光强不对称的改进,该方法有光路简单,无能量损失的优势。  相似文献
5.
自聚焦超晶格波导电光调制器   总被引:4,自引:4,他引:0  
研制了一种基于自聚焦超晶格薄膜电光波导调制器.首先给出了自聚焦超晶格薄膜电光特性的测量和器件结构的优化设计,采用测量二次谐波生成值对入射角的依赖关系测定了薄膜的有效电光系数,保证了器件的设计精确有效.利用多层膜传输理论研究了器件电极对光波的最大吸收,并对器件结构进行了优化,获得了最小调制电压.其次给出了所加工的实验模型结构和扫描电子显微镜(SEM)图片,确保了加工质量和设计结果的一致.研究结果表明:这种无需外电场极化处理的新型聚合物薄膜电光调制器加工难度小,并且光学损耗优化到了1.0dB/cm.  相似文献
6.
二维光子晶体光波导透射特性的研究   总被引:3,自引:1,他引:2  
用时域有限差分方法(FDTD)研究光波在光子晶体光波导中的传播规律,发现不同形状的波导能够导引不同频率的光波。光子晶体波导的带隙宽度和透射系数与该波导的结构和参数都有很大的关系,随着介质柱半径的变化,带隙呈现一定的变化规律,介质柱半径变小,该波导的带隙向高频方向移动,且带隙的宽度变宽;而介质柱半径变大时,光波的透射峰的峰值却变得比较大,损耗变小。研究结果为光子器件的设计提供了理论依据。  相似文献
7.
二维硅薄膜光子晶体波导的设计及制作   总被引:3,自引:1,他引:2  
为了制作可用于通信波段的二维硅光子晶体波导,研究了光子晶体波导的设计方法及制作工艺。应用平面波展开法计算了两种空气孔型光子晶体结构的TE波禁带,经筛选采用了三角晶格空气孔结构。同样利用平面波展开法计算了引入缺陷后二维三角晶格空气孔型光子晶体波导结构的TE波禁带,经对比发现归一化频率为0.295 7的缺陷态最适宜用来制备光子晶体波导,并据此设计了用于1.55 μm波长的二维三角晶格空气孔型光子晶体波导,其晶格周期为458 nm,空气孔直径为339 nm。对设计的结构参数进行了容差计算,结果表明误差在-3.95~5.65 nm方能满足设计要求。最后使用聚焦离子束刻蚀工艺,制作了所设计的波导结构,并进行了测试。测试结果表明,样品实际晶格周期为463 nm,空气孔直径为344 nm,比设计值大5 nm,在容差允许范围内,满足设计要求。  相似文献
8.
一种雷达天线转台研制中的有关问题   总被引:2,自引:1,他引:1  
介绍了TQ型脉冲多普勒天气雷达天线转台的组成和传动型式,对转台中的双摇杆机构和波导铰链作了分析,提出俯仰驱动装置装配中需要注意的问题。  相似文献
9.
带磁致伸缩位移传感器液压缸   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文介绍带磁致伸缩位移传感器液压缸的结构特点。分析说明了磁致伸缩位移传感器的工作原理及性能。  相似文献
10.
新材料、新结构在某相控阵天线结构设计中的应用   总被引:2,自引:2,他引:0  
简述了某系统设备中相控阵天线的结构组成、尺寸精度和结构特点。介绍了采用不锈钢挠性连接的结构方式和殷钢材料控制天线形变的方法,这些方法有效地减少并控制了天线因温度变化而产生的形变,保证了天线的发射和监测精度。  相似文献
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