天然气脱汞吸附剂的制备及其性能评价

研究以Al_2O_3颗粒为载体,分别用Cu(NO_3)_2、Na_2S的水溶液和单质S的CS_2溶液浸渍,在载体上负载了CuS和单质S,制备了Al_2O_3-CuS-S天然气脱汞吸附剂。利用扫描电镜能谱分析(SEM-EDS)和X射线衍射检测(XRD)对活性物负载情况进行了表征。Cu~(2+)浸渍液质量分数为18%,S~(2-)浸渍液质量分数为8.1%,S浸渍液质量分数为6%,脱汞剂活性物质负载量最佳;其中CuS质量分数为11.98%,总S质量分数为8.85%。实验测量了脱汞吸附剂的汞容量,考察了进气口汞含量和停留时间对脱汞效果的影响。结果表明:当进气口汞质量浓度为300μg/m~3,停留时间为2.0 s时,出口汞质量浓度降低到10.35μg/m~3,脱汞率为96.55%,达到工业天然气脱汞要求,可用于工业化生产。     

兼有缓蚀与降黏性的聚丙烯酸甲酯-丙烯酸咪唑啉制备及性能评价

为开发兼有缓蚀与降黏作用的多功能油品添加剂,以丙烯酸甲酯和丙烯酸咪唑啉为原料制备了聚丙烯酸甲酯-丙烯酸咪唑啉(MA-ACI),用红外光谱对其结构进行了表征,用凝胶渗透色谱对其分子量进行了检测。采用旋转挂片和电化学Tafel极化曲线法评价了MA-ACI的缓蚀性能,用旋转黏度计研究了MA-ACI的降黏性能。结果表明,在丙烯酸甲酯与丙烯酸咪唑啉摩尔比8∶1、引发剂偶氮二异丁腈加量1.0%、反应温度80℃、反应时间10 h的条件下制得的MA-ACI(相对分子质量36582)对N80金属钢片具有良好的缓蚀作用,对江苏油田韦5-57井原油具有较好的降黏作用。在30℃、MA-ACI加量为0.10 g/L时,用旋转挂片法测得的缓蚀率为82.06%,MA-ACI加量为0.40 g/L时,用电化学极化曲线法测得的缓蚀率为90.21%;在70℃、MA-ACI加量为100μg/g时,江苏油田韦5-57井原油的降黏率为85.28%。     

PECVD SiON膜的性质及其在双层互连工艺中的应用

我们在研制和生产双层布线的 3μm CMOS LSI器件时,采用了 PECVD SiON(等离子增强化学气相沉积的氮氧化硅)膜作金属层之间的绝缘层.这种薄膜具有很小的压应力,很低的针孔密度,良好的台阶覆盖性等优点.这种绝缘膜是采用PECVD沉积工艺,以氮冲稀的低浓度SiH_4(3％)和N_2O气体为原料制得的. 本文着重介绍 PECVD SiON膜的性质及其在双层互连工艺中的应用.     

CVD BPSG膜的沉积及其回流机理

在研制和生产硅栅MOS型(NMOS和CMOS)LSI时,用化学汽相沉积的硼磷硅玻璃(CVD BPSG)膜取代常规的磷硅玻璃(PSG)膜作回流介质层,可将回流温度降低到1000℃以下,达到800—950℃之间,因而可以把高温引发的那些不希望有的杂质扩散和各种缺陷减至最少. 本文着重介绍 CVD BPSG膜的沉积和回流特性,并初步探讨了掺杂 CVD SiO_2膜的回流机理.