EeBES—40型电子束曝光机的图形生成系统

介绍了美国瓦里安公司１９７９年研制的一种生产型电子束曝光机的光栅扫描方式，以及光栅扫描作图的图形生成系统和该系统的主要组成部件。     

电子束曝光机激光定位工件台技术评述

一、前言大规模和超大规模集成电路向着高集成化,微细化发展的同时,其基片的尺寸也在不断地增加。为实现高精度、高速度、大尺寸基片的作图,为此电子束曝光设备突破了几项关键技术,其中卓有成效的关键技术之一,就是成功地应用了激光位置检测的工件台系统。利用激光定位的高精度,以分步/重复的作图方式,用小场拼接技术,克服了电子束偏转场尺寸的局限,实现了大尺寸基片的作图。另外由于激光测量高分辨率的特点,又可作为坐标轴系     

激光定位工件台长度测量的有理化电路

在激光干涉测量的数据处理中,常用迭代法对测量数据进行有理化(指小数有理化),本文讨论迭代参数的设计,并介绍一种用于电子束曝光机双频激光定位工件台中长度测量的有理化电路。     

Ee~－BES－40A电子束曝光机的无油超高真空系统的故障诊断技术

本Ｂｅ－ＢＥＳ－４０Ａ电子束曝光机是电工所引进美国Ｖａｒｉａｎ公司的二手设备。本文主要介绍该机的无油超高真空系统的故障诊断技术，及其排除方法。其中，应用了“压强上升率法”，以及氦质谱检漏仪的新型检漏技术──“逆扩散”技术，最终达到了所要求的超高真空。同时，找到了一套适用于无油真空系统的故障诊断方法。     

六硼化镧阴极的装卡问题及其发射试验

一、前言在大规模、超大规模集成电路的工艺设备中,电子束曝光机是一个不可少的关键设备,而为了提高电子束曝光机的性能,使曝光设备实用化,如何提高电子源亮度,是一个迫切需要解决的问题。在许多新型阴极中,六硼化镧是近年来研究得较多的新型高亮度阴极。经过近十几年的努力,国际上逐渐以六硼化镧阴极,取代一直沿用的钨丝阴极。     

双频激光测量系统及其在IC加工设备中的应用

本文介绍美国HP公司生产的双频激光测量系统以及在IC加工设备中的应用,并对采用该测量系统时应注意的问题进行讨论。     

高精神激光干涉仪定位系统

ＨＰ公司推出的新产品５５２７Ａ型双叔激光干涉仪的精密测量系统,采用数字控制ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板为核心组成的闭环位置控制线路,取得了亚微米有的定位精度和重复精度。重点介绍ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板的功能,推导出具有前馈补偿ＰＩＤ控制器的传递函数表达式,分析ＰＩＤ根轨迹图上零点的位置对伺服系统稳定性的影响,介绍控制器的调研方法,以及采用ＨＰ－３６５２Ａ动态信息号分析仪,可实现伺服轴板的快速调试,     

电子束纳米加工技术研究现状

纳米科学技术是８０年代后期发展起来面向２１世纪的高新技术，纳米加工技术是制造量子微结构的主导技术。电子束纳米加工推动着微细加工技术的研究向着分子、原子量级的纳米层次发展。本文重点介绍电子束纳米曝光技术的研究现状及发展前景。     

高精度激光干涉仪定位系统

ＨＰ公司推出的新产品５５２７Ａ型双频激光干涉仪精密测量系统,采用数字控制ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板为核心组成的闭环位置控制线路,取得了亚微米级的定位精度和重复精度。重点介绍ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板的功能,推导出具有前馈补偿ＰＩＤ控制器的传递函数表达式,分析ＰＩＤ根轨迹图上零点的位置对伺服系统稳定性的影响,介绍控制器的调试方法,以及采用ＨＰ－３５６２Ａ动态信号分析仪,可实现伺服轴板的快速调试,给出闭环位置控制系统的控制程序。