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2.
采用光学发射光谱(OES)原位检测技术,对等离子体刻蚀机中的等离子体状态进行实时监控,讨论了其在故障诊断、分类、刻蚀终点的判断及控制方面的应用。实验平台为在新研发的高密度等离子体刻蚀机,采用化学气体HBr/Cl2为刻蚀气体进行多晶硅刻蚀工艺实验,实验过程中所采集的OES数据通过PCA法进行分析,得到与刻蚀过程相关的特征谱线。实验结果表明:OES技术适合于深亚微米等离子体刻蚀工艺过程的终点检测及故障诊断。最后就OES技术未来发展面临的挑战进行了讨论。 相似文献
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柏杨 《电脑编程技巧与维护》2017,(12)
社会经济及科学技术的迅猛发展,使得计算机技术与人们的生产生活日益紧密.但是由于各种原因的影响,计算机信息数据的安全问题普遍存在,严重影响了个人及企业的自身利益,甚至对整个社会的和谐稳定产生不良影响.加大对计算机信息数据安全及加密技术的分析探讨,全面提高计算机信息数据安全性是必须要关注的问题. 相似文献
8.
搅拌磨中研磨介质大小对氧化锌超细研磨的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
采用2种直径分别为0.40.6、0.80.6、0.81.0 mm的氧化锆球,研究研磨介质大小对湿法研磨过程中氧化锌粒径的影响,并利用粉磨动力学模型分析研磨过程中的破碎机理。结果表明,采用直径为0.41.0 mm的氧化锆球,研究研磨介质大小对湿法研磨过程中氧化锌粒径的影响,并利用粉磨动力学模型分析研磨过程中的破碎机理。结果表明,采用直径为0.40.6 mm的研磨介质研磨30 min时,氧化锌粒径可达到最小,即d50为0.9μm,d90为2.41μm;研磨介质直径为0.40.6 mm的研磨介质研磨30 min时,氧化锌粒径可达到最小,即d50为0.9μm,d90为2.41μm;研磨介质直径为0.40.6 mm时的破碎速率明显大于直径为0.80.6 mm时的破碎速率明显大于直径为0.81.0 mm时的破碎速率,且破碎颗粒分布在较小的粒径范围内;在研磨过程中冲击破碎和摩擦破碎同时存在,研磨介质直径为0.41.0 mm时的破碎速率,且破碎颗粒分布在较小的粒径范围内;在研磨过程中冲击破碎和摩擦破碎同时存在,研磨介质直径为0.40.6 mm时摩擦破碎的比例大于直径为0.80.6 mm时摩擦破碎的比例大于直径为0.81.0 mm时的比例。 相似文献
9.
MOV(金属氧化锌压敏电阻)常以多片并联的形式应用于限压型SPD(电涌保护器)中,由于其性能的优劣直接影响器件的整体保护效果,遂对MOV多片并联方法及性能进行分析,通过并联后MOV电气特性的理论与试验分析,得出MOV产生电流偏差IL的主因是由于U_(1mA)和R_d的不一致性。同时基于ATP-EMTP(电磁暂态分析软件),考虑在大电流作用下MOV的响应特性和全电流区的伏安特性,并构建电路模型,利用2 ns上升速率的方波回路和8/20μs脉冲电流发生回路进行实测,仿真MOV在不同片数下的残压与通流特性,得到多片并联后MOV的特性参数变化趋势,得出MOV 5片并联其效果相对最佳。 相似文献
10.
三水盆地1958年开始油气勘探以来,发现了宝月、竹山岗两个小油气田,根据油气勘探及研究程度预测其石油和天然气地质储量分别为52.3×104 t和6513.5×104 m3。迄今为止,该区通过断断续续开发生产采出的油气数量尚不足其油气储量的10%,因此,三水盆地油气勘探开发尚有一定的潜力。通过全面分析该区油气地质条件,指出中下始新统布心组二段生油、布心组三段下部储油、布心组三段上部及上始新统西布组中下部为盖层所构成的生储盖组合为盆地最理想的油气成藏组合类型,其有利油气勘探方向依次为古近系油气勘探领域、"新生古储"的古潜山勘探领域和晚古生代-早中生代煤成气勘探领域。 相似文献