YAG激光扫描刻槽机

本文设计了一种新型扫描激光刻槽机。分析了刻槽机的激光扫描系统和机械传动系统。YAG激光刻槽机每分钟能刻20个电阻,扩阻率500～3000倍;槽宽50μm;阻值精度±0.5%(R<1mΩ),±1%(R>1MΩ)。     

激光加工的最新应用领域

介绍近年来国际激光加工作为先进制造技术在各个行业、产业应用中的发展趋势。同时,对各种新颖的全固态激光器,包括半导体泵浦固体激光及其倍频技术、高重复频率超短脉冲UV固体激光精细微加工技术、高功率工业级光纤激光器的最新应用     

液晶显示玻璃基板激光切割热应力场的有限元仿真

激光切割玻璃基板是一个复杂的激光与材料相互作用的过程。为了掌握切割过程中热应力场的动态分布,提高切割质量,提出了一种热应力场的仿真方法。在有限元软件Ansys环境下,建立了三维液晶显示玻璃基板激光切割热应力场的有限元分析模型。采用间接法方式对温度场和热应力场进行耦合;通过APDL参数化编程语言,实现了对激光移动热源及射流冲击换热模型的仿真。仿真结果表明:在切割过程中,激光照射区内表现为压应力,压应力最大值出现在热源中心处;在激光光斑前、后一段距离内及冷却点附近均表现为拉应力。增大冷却效果及减小冷却点与激光光斑间的距离,均可增大拉应力δy的值。     

小功率封离型全金属RF激励CO_2激光器的实验研究

研制了一种小功率封离型全金属结构射频 (RF)CO2 激光器。在 75 0mm放电长度上获得了大于 30W的稳定性优于± 5 %的TEM0 0 模激光输出 ;光束的远场发散角小于 3.5mrad。电光转换效率优于 12 .5 %     

X—Y振镜扫描失真及其校正

本文主要叙述了在二维振镜光扫描系统中的线性失真和枕形失真问题,对枕形失真的误差形成和实际补偿方法进行了理论分析,并且利用电子线路实现对枕形失真的校正。     

三振镜光扫描系统设计

根据几何光学原理,设计了一个高精度、多功能的三振镜光扫描系统。系统性能优于二振镜系统,定位精度±7μm。     

塑料的激光焊接工艺

随着塑料制品在现代工业中的广泛应用,先进制造业对激光塑料焊接的需求越来越迫切。本文论述了用激光焊接塑料的基本原理,目前的应用情况及发展趋势。通过选用激光、加工设备研究了塑料焊接工艺。按材料,焊接工艺和主要参数,来全面介绍了激光塑料焊接的取得的成果和现阶段的工作。     

IC探针卡激光微孔加工系统与工艺开发研究

本文简单介绍半导体产业集成电路芯片测试用探针卡,分为以悬臂梁方式的环氧探针(Epoxy ring probe)、垂直探针(Vertical probe card)和微弹簧丝探针(Microspring probe card),以及基于微机电系统的MEMS probe card.采用半导体泵浦紫外固体激光(UV DPSSL 355nm),开发了激光微孔成型精细加工系统,运用新的光学设计思想开发了远心扫描物镜等光学元件,成功研制了紫外激光微加工光学系统,开展IC半导体芯片测试探针卡探针导向片微孔列阵成型工艺和材料特性研究,进一步研制开发了新型旋转打孔的电子光学系统.     

射频激励CO2激光器综述

综述了射频激励CO2激光器的发展历史和优异性能,对扩散冷却全金属结构射频激励CO2激光器的技术要点,从射频激励技术,实验原则,装置结构,扩散冷却,射频激励特征等几个方面进行了全面的论述。     

高精度伺服控制偏转振镜

本文叙述伺服控制动圈式和动铁式振镜的主要性能。它们的重复精度分别是优于±0.2%和±0.3%。阶跃上升时间分别是1.5毫秒和1.2毫秒。位置分辨角小于12弧秒,可为激光光路提供准确而迅速的偏转扫描。已在激光光阀大屏幕显示中得到应用。