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在相位测量轮廓术中,相位高度映射是通过对若干 已知平面的高度和相位来完成系统标定。其中四 平面法所需数据量最少,但是单向相位高度映射在进行高度重建时,相位差越接近于0,则 重建高度误差越 大。为此提出一种基于虚拟参考面的相位高度映射法,即通过在原四平面基础上增加一个预 设高度的虚拟 平面,再拟合得到其相位分布,进而计算出适合于整个标定空间的系数表a、b 、c,从而显著提高物体三维 重建精度。实验结果证明了该方法的可以有效地减小映射高度误差,测得单向相位高度映射 法物体重建相 对误差低于4.76×10-2 mm,虚拟参考平面相位高度映射法物 体重建相对误差低于7×10-3 mm,平面测量均差低于5×10-3 mm。 相似文献
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