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金刚石基底上制备(002)AlN薄膜的研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
首先采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,在O2/H2/CH4混合气体气氛下利用大功率微波在(100)Si片上生长出了异质外延金刚石膜,X-射线衍射(XRD)、拉曼光谱和场发射扫描电子显微镜(FESEM)对薄膜的表征分析结果表明,制备的金刚石膜具有很高的金刚石相纯度,且晶粒排列紧密;继而采用射频磁控反应溅射法,在抛光的金刚石基底上成功制备了高C轴择优取向的氮化铝(AlN)薄膜,研究了不同的溅射气压、靶基距对AlN薄膜制备的影响,XRD检测结果表明,溅射气压低,靶基距短,有利于AlN(002)面择优取向,相反则更有利于AlN薄膜的(103)面和(102)面择优取向;研究了AlN薄膜在以N终止的金刚石基底和纯净金刚石基底两种表面状态上的生长机制,结果发现,以N终止的金刚石基底非常有利于AlN(002)面择优取向生长;从Al-N化学键的形成以及溅射粒子平均自由程的角度,探讨了其对AlN薄膜择优取向的影响。  相似文献
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TD-SCDMA系统RNC模拟大话务量测试及分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
参考《第三代移动通信系统——TD-SCDMA无线子系统设备规范硬件分册》的设备成熟商用要求,为了考察TD-SCDMA系统中RNC(无线网络控制器)设备容量与稳定性、资源共享性和负载控制能力等方面的性能指标,文章阐述了一种对RNC采用模拟大话务量冲击测试的方法,通过系统级的模拟测试,重点分析了厂家RNC设备典型的资源共享实现机制及负载控制实现机制。  相似文献
3.
智能天线是TD-SCDMA系统中一项关键技术,目前主要有6阵元天线与8阵元天线两种.本文从天线的各项性能指标包括覆盖、容量、赋形增益等方面对两者进行了测试对比,同时结合工程建设的成本对两者作了比较,最后得出一种大规模网络建设最优的部署方案.  相似文献
4.
蓝色LED尤其是高亮度蓝色LED的技术及其产业化,是半导体光电器件领域研究的前沿课题,同时也在本世纪末在世界范围内掀起了“蓝光热潮”,本文介绍蓝色LED现状,重点阐述其技术和市场。  相似文献
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工程机械工作环境差、使用频率高,液压系统复杂,是最容易出现故障的系统之一,本文重点讲述工程机械液压系统常见故障的分析及维护保养的方法。  相似文献
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