微型薄膜电阻的制备及研究

将具有优异特性的碳纳米管（CNTS）与负性感光胶（SU-8 2002）混合得到复合材料,将不同比例的碳纳米管通过超声工艺分散到SU-8 2002感光胶中,通过UV-LIGA加工工艺,热压处理后实现了微型电阻的快速制备。对复合薄膜电阻的性能进行测试,测试结果表明复合薄膜电阻率随着碳纳米管比例的增加而减小,当碳纳米管的比例为12%时,电阻率减小到0.06 ,复合材料达到逾渗阈值,频率小于1.2GHz时,电阻值的变化范围小于5%,为快速制备微型电阻提供了新的方法。     

基于紫外厚胶的探针加工工艺

研究了一种基于紫外厚胶SU-8的亚毫米探针的加工工艺,通过溶液间的界面张力形成微球,再由深紫外光刻形成微柱。这种新技术利用紫外LIGA技术替代较为复杂昂贵的深反应离子刻蚀(DRIE)技术,使用甘油补偿紫外胶与空气之间的折射率差,使紫外光透过微球后依然可以曝光厚达几百微米SU-8胶形成微柱,并且提出原位放大接触点的对准方法,实现了微球与微柱的同轴。最终实现高深宽比的探针结构,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。由于此工艺与传感器工艺相容,探针可以直接制作在集成了传感器的测头基底上,大幅减少了装配误差。     

江南河道总督麟庆考论

麟庆是清代任职时间较长的江南河道总督。时至道光,黄河夺淮已有四五百年的历史,淮河下游河道和洪泽湖的淤积日益严重,使得黄、淮、运相交的南河一带形成在当时的经济和技术条件下难以克服的治理死结。尽管麟庆竭力在实践经验和前人理论之间寻求改良的治河措施,也幸得南河近十年总体安澜之效,却无法从根本上改变运河治理日益艰涩之衰势。同其前任及后任河督一样,麟庆最终仍因河患突发而被罢官。从家世与生平、任职开归陈许道、十年南河总督、治河著述、赋闲半亩园等角度,对麟庆生平行迹特别是治河经历作详细考论。     

Ca变质处理耐候钢耐蚀性能的研究

通过盐雾腐蚀实验和周期浸润实验,采用失重法研究了Ca变质处理耐候钢的耐蚀性能,分析了其锈层结构、表面夹杂物形貌与耐蚀机理,结果表明,在盐雾腐蚀实验和周期浸润实验中耐候钢的失重率分别可达到SPHC钢的36.6%和47.9%,Ca变质处理耐候钢具有良好的耐候性能.     

一种近方脊滤波器的设计与快速制造

滤波器是信号传输系统中的重要组件。本文提出一中快速、高精度复制工艺方法,用于设计和制备WR-10波段矩形波导滤波器。采用多层匀胶单次紫外曝光工艺（硅片上匀SU-8胶）,制备出的滤波器高度误差小于0.03%（3um）,陡直度误差小于1.1o。实验结果表明,用该方法制备毫米波滤波器技术可行,并取得了卓越的电磁性能（关于：插入损耗,回波损耗和带宽）。最终测试结构可知,通带内的插入损耗测得结果小于0.5dB,几乎可以忽略不计,在整个通带内回拨损耗大于10 dB。结果表明,这种快速制造技术是制备太赫兹射频器件的一种有效办法,这种新技术将成为推动太赫兹射频器件未来发展的主要动力。     

基于CNTs/PDMS介电层的柔性压力传感特性研究

提出一种基于MEMS工艺的柔性压力传感器制备方法.采用MEMS工艺制备柔性压力传感器模板,结合纳米压印技术、射频磁控溅射技术和PDMS软光刻工艺在PDMS柔性基底上制备了具有"V"型阵列微结构的Ag薄膜平行板电极,基于碳纳米管(CNTs)/PDMS聚合物的压电容特性,制备出电容式柔性压力传感器.针对不同尺寸的压力传感器进行对比测试,本文制作的压力传感器的灵敏度能够达到3.98% kPa-1,具有良好的重复性,在智能穿戴和电子皮肤等方面有着广阔的应用前景.     

MEMS开关宽频程控步进衰减器设计与实现

提出了一种基于MEMS开关的射频衰减器设计方案。首先对整体电路的基础结构进行了设计，选择以CPW（共面波导）为传输线，接触式MEMS开关作控制器件，同时以开关中的电容作为断路时的平衡电容进行Q值匹配；其次，通过理论推导与计算得到了波导的截面尺寸；然后按所需衰减量计算T型网络各个电阻的阻值大小。再按照计算值在CST微波工作室中建模仿真，对比单级衰减和展频二级衰减的S参数，可以发现，在Q值匹配后的电路中，射频信号可以在更宽的频段内保持稳定衰减。最后通过UV-LIGA技术结合氧化钽电阻工艺对衰减器进行了样片试制与结果测试。结果表明，通过Q值匹配可以扩展衰减器的工作频段，为高频信号的稳定衰减提出了一种可行性方案。     

USB3.0接口在数据存储系统中的应用

目前存储器需存储的数据量越来越大,高速数据传输系统的需求变得极为迫切;为实现海量数据的高速稳定传输,并同时具有便携性及兼容性等特征,介绍了一种以FPGA为控制核心,DDR2 SDRAM为高速大容量缓存,USB3.0接口作为记录器与计算机进行数据通信接口的高速数据传输系统,通过模块硬件电路及软件协议实现了数据的高可靠性稳定传输,解决了大容量存储器和计算机之间的数据传输速度瓶颈;经长期试验证明:该接口传输速度可稳定达到150M/s,且数据可靠无误,满足任务设计要求.     

基于MEMS开关的射频衰减器的设计制作

提出了一种基于微机电系统(MEMS)开关的射频衰减器的设计方案。首先在DC~20 GHz内,以10 dB衰减量为目标,对整体电路结构进行设计,选择以共面波导(CPW)为传输线,接触式MEMS开关作为控制器件,同时以开关中的电容作为断路时的平衡器件进行电路匹配;然后按所需衰减量计算T型网络中各个电阻大小;按照计算值,在CST微波工作室中建模仿真得到工艺加工需要的尺寸;最后结合UV-LIGA工艺对衰减器进行了样片试制并对其性能进行了测试。测试结果显示,在DC~20 GHz内,目标衰减量为10 dB时,最大偏差可以控制在2 dB之内。结果表明,以MEMS开关为基础的衰减器,可以在宽频带内实现更加稳定的衰减。     

分段式除鳞在热连轧上的应用

主要论述了某热轧厂精轧除鳞箱改造前状况及存在的主要问题;改造方案及改造后分段式除鳞的技术特 点。研究表明通过除鳞集管分段控制能够在保证除鳞效果的条件下降低该工序的能源介质消耗。改造实践证明 在除鳞系统压力不变的条件下，通过除鳞集管分段式控制，同时优化喷射角、入射角和喷射距离等射流参数以及合 理选择喷嘴型式等措施，能够提高除鳞打击力，改善除鳞效果，并有效降低除鳞能耗和除鳞水量。