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纳秒脉冲激光器制备的Si表面宽带抗反射杂化结构 总被引:1,自引:1,他引:0
提出了一种通过纳秒脉冲激光器微加工制作的杂化准微金字塔型结构,与未经处理的均匀准微金字塔型结构相比,平均反射率下降了15%。通过实验,系统研究了激光能量密度、脉冲个数和图案间距对反射性能的影响。结果表明,反射率随图案间距的增加而增加,随着脉冲数增加而减少,当激光能量密度在4.83J/cm2时获得最小反射。这种技术用具有普通纵横比的微杂化结构替代高纵横比的非杂化结构,获得宽带抗反射性能,成本更低。通过优化激光加工参数能获得较高的抗反射性能。 相似文献
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为加强公路工程质量,确保工程质量,必须加强基础工作、施工质量控制等工作,本文从设计、施工前、施工中等各方面对公路工程施工质量控制措施进行了探讨。 相似文献
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