缩小步进投影光刻机在碲镉汞红外探测器芯片工艺中的应用

光刻是制备碲镉汞红外探测器芯片过程中非常关键的工艺。目前绝大部分碲镉汞芯片制备都是使用接触式光刻技术,但是在曝光面型起伏较大的芯片时工艺均匀性较差,并且掩膜在与芯片接触时容易损伤芯片。针对接触式光刻的这些缺点,利用尼康公司生产的缩小步进投影光刻机开发了用于碲镉汞芯片的步进式投影曝光工艺。对设备的硬件和软件均进行了小幅修改和设置,使其适用于碲镉汞芯片。经过调试后,缩小步进投影光刻机在某些面型起伏较大的芯片上取得了更好的曝光效果,光刻图形的一致性得到了提升。实验结果表明,缩小步进投影光刻技术能够提高碲镉汞芯片的光刻质量,并在一定程度上改善了芯片制备工艺。     

计及电动汽车充电与可再生能源协同调度的负荷特性分析

电动汽车与可再生能源的协同调度是促进可再生能源消纳、平抑可再生能源并网带来的波动、减少电动汽车无序充电对电网影响的有效手段。本文以降低光伏发电入网后电网的净负荷波动为目标,建立电动汽车与光伏发电协同调度的数学模型。同时,针对现有的研究缺乏对电动汽车有序充电后的电网和电动汽车负荷特性进行定量分析的问题,提出特性评价指标,用于定量分析电动汽车响应调度后电网的负荷特性,并评估协同调度的效果和影响。最后,采用天津市某区域的数据进行仿真分析,结果表明,本文所提出的协同调度模型在不同光伏渗透率下均能有效地平抑可再生能源波动,减少负荷峰谷差。     

孟加拉单点系泊工程配套油库选址研究

孟加拉单点系泊及双线管道工程是积极响应国家“一带一路”倡议所收获的重要市场成果，该项目主要由3个主系统即卸油系统、转输系统及输送系统构成。在简要介绍了项目概况的基础上，针对陆上存储系统，即配套油库的选址工作进行了较为详细的分析研究，主要从当地气象海况、SPM位置、工艺水力计算、选址要求等方面进行论述。根据研究结果，给出了油库在不同站址情况下的优缺点，据此指出马什卡里岛中的第4处库址是唯一一处可满足项目设计要求的位置。经过两年的现场施工建造，所选库址经历了多次雨季及海上气旋，实践证明最终选用的库址可以抵御海上气旋和风暴潮的影响。目前油库的施工建造已接近尾声，项目进展顺利。