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1.
IPv6对网络安全的改进   总被引:6,自引:0,他引:6  
刘世杰  李祥和 《电视技术》2007,31(2):58-59,63
对网络攻击进行了分类,分析了各类攻击的内容和特点。对IPv6引入的安全机制IPSEC和IPv6的地址机制进行了讨论,研究了其对网络安全的具体改进。指出了引入IPv6后带来的安全问题及今后的研究方向。  相似文献
2.
用于微器件加工的AZ4620厚胶光刻工艺研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
对AE4620厚胶紫外光刻工艺进行了实验研究,探讨了其工艺特性及光刻胶层的刻蚀面形与各种工艺条件的关系,提出了刻蚀高深宽比、最佳浮雕面形所需的工艺条件.通过对光刻工艺过程的研究,可为较好地控制正性光刻胶面形,制作微机械、微光学器件提供了参考依据,对微浮雕结构的深刻蚀具有重要的指导意义.  相似文献
3.
光刻中驻波效应的影响分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
驻波效应是抗蚀剂在曝光过程中的寄生现象。一般认为,驻波效应对薄胶的光刻图形有较大的影响,而对厚胶的光刻图形影响不大。根据DILL曝光模型进行了模拟计算,分析了在曝光过程中抗蚀剂折射率的改变对驻波强度和位置的影响以及驻波效应引起抗蚀剂曝光剂量分布的变化,并结合MACK显影模型分析了当抗蚀剂的厚度改变时,驻波效应对其显影轮廓的影响程度,计算分析得出了一个可以不采用后烘工序的抗蚀剂厚度值。  相似文献
4.
实时灰阶掩膜技术制作微透镜列阵   总被引:2,自引:0,他引:2  
提出一种制作连续微结构的实时灰阶掩膜技术 ,它将液晶显示 (LCD)系统和投影光刻系统相结合 ,利用液晶显示系统实时显示一系列二值图形来获得连续的灰度记录 ,给出了原理分析。基于部分相干光成像理论 ,进行了微透镜制作的计算机模拟。建立了实验装置 ,并采用全色卤化银明胶 (Kodak131)通过酶刻蚀得到半径为 5 9 33μm ,深为 1 6 38μm的 5 6× 4 8微透镜列阵  相似文献
5.
厚胶光刻中光敏化合物浓度空间分布研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
厚胶光刻过程是一个复杂的非线性过程,其光刻胶内光敏化合物(PAC)浓度空间分布是影响显影面形的主要因素。根据厚层胶光刻的特点,结合光化学反应机理,利用角谱理论,分析了在曝光过程中光刻胶内衍射光场和PAC浓度的空间分布随时间的动态变化,以及后烘(PEB)过程对PAC浓度空间分布的影响。该方法数值计算结果准确,且速度快。数值模拟表明,其内部衍射光场分布与PAC浓度分布是一个动态的、非线性的相互影响过程;后烘工艺可平滑PAC浓度空间分布;PAC浓度空间分布是影响浮雕面形边沿陡度的一个重要因素。  相似文献
6.
多层介质膜光栅和介质膜反射镜抗激光损伤阈值研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
对多层介质膜光栅以及介质膜反射镜的激光损伤阈值进行了系统的研究。测试方法采用国际测试标准。测试结果表明,介质光栅的损伤阈值远低于未刻蚀的多层介质膜。对样品损伤形貌的扫描电镜照片分析发现,相比于未刻蚀的多层介质膜,介质膜光栅的初始损伤主要发生在光栅槽形的侧壁,且损伤主要是由驻波场的空间分布引起的本征吸收、制备过程中引入的杂质污染以及刻蚀过程中HfO2的化学计量机失衡引起的。  相似文献
7.
真空室内金属粒子污染是降低激光薄膜性能的一个重要因素。采用高真空残余气体分析仪,对薄膜沉积过程中的气氛进行分析。发现由黄铜制作的加热灯架在工作时会分解出Zn,在这种条件下沉积薄膜,会使薄膜中掺入金属杂质,导致薄膜激光破坏阈值降低。采用表面分析技术对薄膜的组分进行分析,证实薄膜中锌杂质的存在。激光破坏实验证明,含有锌杂质的薄膜的破坏阈值明显降低。  相似文献
8.
提出酶蚀卤化银明胶制作连续深浮雕微结构的新方法。给出了卤化银明胶酶蚀成像原理和深刻蚀过程机理的理论分析。求得存在吸收时 ,刻蚀深度与曝光量关系的解析式。表明胶膜对光的吸收是造成其非线性关系的主要原因 ,并提出了解决方案和优化工艺参数 ,通过实验得到在刻蚀深度为 4 μm范围内有良好的线性关系 ,最后成功制作了良好面形的微柱透镜列阵  相似文献
9.
为了改善存在信道误差、空时相关条件下多用户多入多出(MIMO)系统的性能,给出了一种基于信漏噪声比(SLNR)的鲁棒预编码算法.通过推导空时相关信道环境下信道向量的条件均值和协方差,分别建立了发送端信道状态信息(CSIT)和接收端信道状态信息(CSIR)模型.在此模型基础上,推导了收发两端信道状态信息(CSI)均不理想情况下的鲁棒SLNR 预编码以及相应的接收滤波矩阵.仿真结果表明,该算法对空间相关性、时间相关性以及信道误差均具备一定的鲁棒性.  相似文献
10.
基于宽带码分多址(WCDMA,Wideband Code Division Multiple Access)与全球定位系统(GPS,Global Positioning System)公交监控系统由WCDMA传输系统、GPS定位系统、车载网络视频服务器系统及软件管理系统四部分组成.通过WCDMA无线传输模块实现视频数据的实时回传,同时采用VPDN组网技术.DVS视频服务器由WCDMA传输系统将实时、快速的监控视频及GPS监控信息传送到监控中心,实现了监控中心远程对公交车辆的监控、管理与调度.本系统具有实时性好、传输能力强的特点.  相似文献
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